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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本发明提供一种动态随机存储器及其制造方法，涉及存储器技术领域，该动态随机存储器包括基底以及设置在基底上连接垫和电容器，其中，电容器包括第一电极层，第一电极层具有向基底延伸的延伸部，延伸部包覆在所述连接垫的顶面及侧面。本发明提供的延伸部能够同时包覆在连接垫的顶面和侧面，增加第一电极层与连接垫的接触面积，降低第一电极层与连接垫之间的接触电阻，进而减小动态随机存储器的信号延迟，提高了动态随机存储器的性能，此外，延伸部还可以增加电容孔与连接垫之间的作用力，降低了后续的制作工艺中出现电容器坍塌的风险。
主权项：1.一种动态随机存储器的制造方法，其特征在于，包括如下的步骤：提供基底；在所述基底上形成连接垫，所述连接垫具有朝向所述基底的底面和远离所述基底的顶面，所述连接垫的底面与所述基底接触；在所述连接垫上形成电容器，所述电容器具有第一电极层，所述第一电极层具有向所述基底延伸的延伸部，所述延伸部覆盖所述连接垫的顶面和侧面；其中，在所述基底上形成连接垫的步骤之前，所述制造方法包括：在所述基底上形成介电结构；在所述连接垫上形成电容器的步骤包括：在所述介电结构上形成第一叠层结构；形成贯穿所述第一叠层结构并延伸至所述介电结构中的环形槽；在所述环形槽中形成填充层，所述填充层的上表面与所述第一叠层结构的上表面平齐；在第一叠层结构上形成第二叠层结构；形成贯穿所述第二叠层结构并延伸至所述连接垫的顶面的电容孔，以及去除所述环形槽内的所述填充层，使所述电容孔朝向所述基底的一端与所述环形槽连通；在所述电容孔内形成第一电极层和在所述环形槽内形成延伸部，所述第一电极层的底部与所述连接垫的顶面电连接；所述延伸部覆盖所述连接垫的顶面和所述连接垫的侧面，并与所述第一电极层为一体结构。
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权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 动态随机存储器及其制造方法
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