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申请/专利权人：华为技术有限公司;中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本申请提供一种用作抛光的磨料的非球形的二氧化硅颗粒，为纳米二氧化硅通过与硅烷偶联剂反应而连接形成非球形的团簇，化学结构通式为SiO2a‑A1b‑A2c‑SiO2d，其中a、b和d均为大于等于1的自然数，c为大于等于0的自然数，A1、A2均为硅烷偶联剂水解接枝在SiO2表面的基团，A1和A2均通过硅氧基接枝在SiO2表面。本申请还提供该种非球形的二氧化硅颗粒的制备方法以及含有该种非球形的二氧化硅颗粒的抛光液。所述非球形的二氧化硅颗粒作为化学机械平坦化工艺的抛光液的磨料，具有高的去除速率且对产品如芯片的划痕少。
主权项：1.一种非球形的二氧化硅颗粒，用作抛光的磨料，其特征在于：所述非球形的二氧化硅颗粒为先将纳米二氧化硅通过与硅烷偶联剂反应而连接形成非球形的团簇、然后所述非球形的团簇包裹有外壳层而形成，所述外壳层为由原硅酸转变形成的二氧化硅，所述非球形的团簇的化学结构通式为SiO2a-A1b-A2c-SiO2d，其中a、b和d均为大于等于1的自然数，c为大于等于0的自然数，A1、A2均为硅烷偶联剂水解后接枝在SiO2表面的基团，A1和A2均通过硅氧基接枝在SiO2表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 中国科学院大连化学物理研究所 非球形的二氧化硅颗粒及其制备方法和抛光液
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