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具有电容在晶体管上方的存储单元结构 

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申请/专利权人:钰创科技股份有限公司;发明创新暨合作实验室有限公司

摘要:本发明公开了一种存储单元结构。所述存储单元结构包含一硅基板,一晶体管,一位线,和一电容。所述硅基板具有一硅表面。所述晶体管耦接所述硅表面,其中所述晶体管包含一栅极结构、一第一导通区以及一第二导通区。所述位线电耦接所述晶体管的第一导通区以及位在所述硅表面下方。所述电容位在所述晶体管上方以及电耦接所述晶体管的第二导通区。因此,相较于现有技术所述存储单元结构具有更致密的结构,较小的面积,较低的漏电流,较高的电容值等优点。

主权项:1.一种存储单元结构,其特征在于包含:一硅基板,具有一硅表面;一晶体管,耦接所述硅表面,其中所述晶体管包含一栅极结构、一第一导通区以及一第二导通区;一位线,电耦接所述晶体管的第一导通区以及位在所述硅表面下方;一电容,位在所述晶体管上方以及电耦接所述晶体管的第二导通区,其中所述电容的下电极直接覆盖所述晶体管的栅极结构的顶面;一第一间隔层,覆盖所述栅极结构的第一侧壁且位在所述硅表面上方;及一第二间隔层,覆盖所述栅极结构的第二侧壁且位在所述硅表面上方;其中所述栅极结构的至少一部分从所述硅表面向下延伸。

全文数据:

权利要求:

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