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一种选通管材料、选通管单元及其制备方法 

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申请/专利权人:华中科技大学;湖北江城实验室

摘要:本发明公开了一种选通管材料、选通管单元及其制备方法,属于微纳米电子技术领域。所述选通管材料为包括In、Te及M的化合物,其中,M为掺杂元素,且为C、Si、N、As、Sc、Ti、Ga、Hf及Y中的至少一种。所述选通管材料的化学通式为InxTeyM100‑x‑y,其中,x,y为元素的原子百分比,且10≤x≤45,55≤y≤90,0≤100‑x‑y≤15。该选通管材料由In、Te和掺杂元素构成,在In‑Te化合物的基础上进行掺杂,组分相对简单,易于调控,且该化合物热稳定性高,漏电流小,通过进一步元素掺杂可以提高其耐用性,热稳定性以及开态电流密度。

主权项:1.一种选通管材料,其特征在于,所述选通管材料的化学通式为InxTeyM100-x-y,其中M为掺杂材料,所述掺杂材料包括C、Si、Sc、Ti、Hf及Y中的至少一种,且5≤x≤50,50≤y≤95,0<100-x-y≤25。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 华中科技大学 湖北江城实验室 一种选通管材料、选通管单元及其制备方法

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