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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司

摘要：本公开实施例提供一种基板载具，包括：第一承载板，所述第一承载板上设置有多个第一容纳部；第二承载板，与所述第一承载板相对设置并连接，所述第二承载板上对应于所述第一容纳部的位置设置有第一通孔，所述第二承载板远离所述第一承载板的表面为承载面，用于承托待成膜的基板；多个伸缩结构，所述伸缩结构包括：驱动结构以及与所述驱动结构连接的顶针，所述驱动结构设置在所述第一容纳部中，并配置为驱动所述顶针沿所述第一通孔的轴向升降，以将所述基板顶起或使得所述顶针与所述基板无接触。本公开实施例还提供一种电化学沉积设备。

主权项：1.一种基板载具，其特征在于，包括：第一承载板，所述第一承载板上设置有多个第一容纳部；第二承载板，与所述第一承载板相对设置并连接，所述第二承载板上对应于所述第一容纳部的位置设置有第一通孔，所述第二承载板远离所述第一承载板的表面为承载面，用于承托待成膜的基板；多个伸缩结构，所述伸缩结构包括：驱动结构以及与所述驱动结构连接的顶针，所述驱动结构设置在所述第一容纳部中，并配置为驱动所述顶针沿所述第一通孔的轴向升降，以将所述基板顶起或使得所述顶针与所述基板无接触；所述驱动结构包括：底座，所述底座上设置有安装槽；转动件，所述转动件设置在所述安装槽中，并与所述顶针螺纹连接，所述转动件用于绕所述顶针的轴向旋转，以将旋转运动转换为所述顶针的升降运动；所述转动件包括：风轮，所述风轮包括：涡轮以及与所述涡轮外壁连接的多个扇叶，所述涡轮套设在所述顶针上，并与所述顶针螺纹连接；所述驱动结构还包括：第一风枪，所述第一风枪的一端与所述安装槽连通，另一端与第一进气管路连通；第二风枪，所述第二风枪的一端与所述安装槽连通，另一端与第二进气管路连通；其中，所述第一风枪和所述第二风枪分别用于沿不同方向朝所述风轮吹风，以使所述风轮沿不同方向旋转；所述安装槽包括：第一安装子槽和第二安装子槽，所述第二安装子槽位于所述第一安装子槽远离所述第二承载板的一侧，并与所述第一安装子槽连通；所述风轮设置在所述第一安装子槽中，所述第二安装子槽用于容纳所述顶针的一部分；所述涡轮沿其轴向的至少一端设置有限位部，所述安装槽还包括连接在所述第一安装子槽和所述第二安装子槽之间的限位子槽，所述限位部位于所述限位子槽中。

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