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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：本发明公开了一种单刃金刚石球头铣刀偏心量的在位精密标定方法，涉及超精密加工技术领域，包括步骤一、铣削轴轴线的精确定位；步骤二、试切件表面的超精密铣削加工；步骤三、带偏心复印的微凹坑铣削加工；步骤四、带偏心复印的微凹坑的微结构表面微形貌检测；步骤五、铣刀偏心量的识别与标定，观察微凹坑微结构中心点附近微形貌，判断铣刀偏心量的正负方向，并计算铣刀偏心大小；本发明采用铣刀在位试切加工凹坑微结构，借助于原子力显微镜检测，实现单刃金刚石铣刀偏心量的在位精密标定，相比于通常的静态测量方法，可以实现金刚石铣刀在高速回转运动中实际偏心量的精密测量。
主权项：1.一种单刃金刚石球头铣刀偏心量的在位精密标定方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、铣削轴轴线的精确定位，通过B轴回转，调整铣削轴轴线方向，使其与机床Z轴平行；步骤二、试切件表面的超精密铣削加工，将待测单刃金刚石球头铣刀装夹于机床铣削轴上，启动铣削轴，将试切件表面加工平整；步骤三、带偏心复印的微凹坑铣削加工，调整铣削轴转速为正式零件加工时所用的转速，在试切件表面加工得到多个带偏心复印的微凹坑；步骤四、带偏心复印的微凹坑的微结构表面微形貌检测，将试切件拆卸，利用原子力显微镜对加工得到的多个微凹坑的微结构进行检测，得到微凹坑微结构的中心点微形貌数据；步骤五、铣刀偏心量的识别与标定，观察微凹坑微结构中心点附近微形貌，判断铣刀偏心量的正负方向，并计算铣刀偏心大小；判断铣刀偏心方向的具体方法为：如果微结构中心点附近形貌为一凹圆台，则铣刀偏心量为负，即向内偏心，如果微结构中心点附近形貌为一凸圆台，则铣刀偏心量为正，即向外偏心；标定铣刀偏心量的具体方法为：当铣刀偏心为负时，利用最小二乘法计算凹圆台底部小圆台的半径，得到铣刀向内偏心量，当铣刀偏心为正时，利用最小二乘法计算凸圆台底部大圆台的半径，得到铣刀向外偏心量；分别对多个凹坑微结构的检测结果进行偏心量的识别计算，取平均值得到最终标定的铣刀偏心值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种单刃金刚石球头铣刀偏心量的在位精密标定方法
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