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申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明的一种可调功率分配比的MEMS五端口环形结及其制备方法，其主要由五端口环形结和MEMS悬臂梁构成。其中，五端口环形结的第一端口为输入端，第二端口、第三端口、第四端口、第五端口分别位于第一端口两侧且为输出端；MEMS悬臂梁位于第四端口和第五端口在环形结上的等分处，在下极板上施加驱动电压，基于静电原理MEMS悬臂梁的高度下降，即MEMS悬臂梁会与环形结信号线发生接触，使得信号线发生接地短路，从而改变整体电路的拓扑结构，进而调整输出端口的功率分配比。该可调功率分配比的MEMS五端口环形结属于无源器件，且具有微型化和可调节功率分配比等特点，与硅基CMOS工艺兼容，便于集成，成本低廉。
主权项：1.一种可调功率分配比的MEMS五端口环形结，其特征在于，包括硅衬底7以及设置在硅衬底7上的基于CPW的端口、环形结9、MEMS悬臂梁5、引线3、压焊块2、空气桥4和下极板6；基于CPW的端口和环形结9放置在硅衬底7上，组成环形定向耦合器的主体结构；基于CPW的端口特征阻抗为50Ω，环形结9的特征阻抗为70.7Ω；基于CPW的端口包括第一端口1、第二端口10、第三端口11、第四端口12、第五端口13，基于CPW的端口末端与环形结9相连；其中第一端口1为输入端，第二端口10、第三端口11、第四端口12和第五端口13为输出端，第四端口12和第二端口10、第二端口10和第一端口1、第一端口1和第三端口11、第三端口11和第五端口13在环形结9上相距的电长度均为四分之一波长；MEMS悬臂梁5包括锚区；MEMS悬臂梁5位于第四端口12和第五端口13在环形结9上的等分处，且分别与第四端口12和第五端口13在环形结9上相距的电长度均为四分之一波长，MEMS悬臂梁5一端悬浮在环形结9的信号线上且另一端通过锚区固定在第四端口和第五端口之间的CPW地线上，下极板6位于MEMS悬臂梁5下方环形结9的信号线和悬臂梁5的锚区之间，下极板6通过引线3引出并连接压焊块2，空气桥4悬浮于引线3之上，连接第四端口12和第五端口13之间分离的CPW地线；MEMS悬臂梁5、下极板6、引线3和压焊块2组成MEMS开关14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 可调功率分配比的MEMS五端口环形结及其制备方法
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