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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本发明公开了一种锌镁靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明所述锌镁靶材的制备方法，包括以下步骤：将锌源和镁源混合均匀，置入真空感应炉中进行抽真空处理后通入保护气氛至炉内气压为2～10Pa；真空感应炉以20～30℃min的速率开启磁感应加热至520～560℃，保温20～35min后降温至430～450℃继续保温3～5h；将保温后所得混料浇铸至模具内冷却，得锌镁合金料；将锌镁合金料预热至300～320℃后进行轧制，所得毛坯靶再经形状尺寸加工后，即得所述锌镁靶材。该方法先以磁感应高温加热将锌和镁快速融合，随后降温保温避免物料损失以及成分偏析，最后经预热轧制后得到的靶材内部无缺陷，组分均匀性高，相对密度可大于99.5％。
主权项：1.一种锌镁靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将锌源和镁源混合均匀，置入真空感应炉中进行抽真空处理后通入保护气氛至炉内气压为2～10Pa；2真空感应炉以20～30℃min的速率开启磁感应加热至520～560℃，保温20～35min后降温至430～450℃继续保温3～5h；3将步骤2保温后所得混料浇铸至模具内冷却，得锌镁合金料；4将锌镁合金料预热至300～320℃后进行轧制，所得毛坯靶再经形状尺寸加工后，即得所述锌镁靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种锌镁靶材及其制备方法
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