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申请/专利权人：无锡芯享信息科技有限公司

摘要：本发明涉及光罩盒智能货柜技术领域，用于解决现有的对光罩盒智能货柜的控制方式中，难以对光罩盒出入库出现的故障进行及时的排查分析，无法实现光罩盒正确、高效的出入库操作的问题，尤其公开了一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有数据采集单元、货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元、显示控制终端和显示屏；本发明，分别对光罩盒的入库状态及出库状态进行监测分析，采用数据逐项分析、模型比较分析以及数据信号输出的方式，从不同层面对光罩盒的入库及出库故障进行排查校正分析，从而实现了实现光罩盒高效的出入库操作。

主权项：1.一种用于半导体晶圆厂的光罩盒智能货柜控制系统，包括货柜控制平台，其特征在于，货柜控制平台的内部设置有服务器，服务器通信连接有：数据采集单元，用于采集光罩盒智能货柜的结构状态信息、光罩盒的放入状态信息以及光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并将其分别发送至货柜存储状态分析单元、光罩盒入库控制单元和光罩盒出库控制单元；货柜存储状态分析单元，用于接收光罩盒智能货柜的结构状态信息，并进行货柜结构状态分析，据此生成实料货位集合A与待料货位集合B，并将实料货位集合A中的各货位在显示屏上用绿色颜色显示，将待料货位集合B中的各货位在显示屏上用黄色颜色显示，并将集合A与集合B分别发送至光罩盒入库控制单元、光罩盒出库控制单元；光罩盒入库控制单元，用于接收待料货位集合B，并据此调取光罩盒的放入状态信息，并进行入库操作处理，据此生成入库成功指令，并触发用于电磁锁开关的继电器；光罩盒出库控制单元，用于接收实料货位集合A，并据此调取光罩盒智能货柜的电磁锁状态信息，并进行出库操作处理，据此生成出库指令，并触发用于电磁锁开关的继电器；入库操作处理的具体步骤如下：依据集合B，统计集合B中的元素的个数和，并将其标定为sum1，并据此生成sum1个入库指令；依据sum1个入库指令，将sum1个光罩盒依次放入光罩盒智能货柜的待料货位中；当光罩盒正确放入货位，并成功触发行程开关时，则生成入库成功指令，并将入库成功指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库成功指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为绿色，并依据入库成功指令，触发用于电磁锁开关的继电器，即将入库后的光罩盒进行上锁操作；当光罩盒错误入库时，则生成入库失败指令，并将入库失败指令发送至显示控制终端，当显示控制终端接收到入库失败指令时，并将对应的货位在显示屏上显示的颜色由黄色跳转为红色，并据此进行入库操作判定分析处理；入库操作判定分析处理的具体操作步骤如下：实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签所处位置以及天线感应范围，以货位水平面建立二维坐标系，将天线感应范围通过实线绘制在二维坐标系上，将标签所处位置通过虚实线绘制在二维坐标系上，分别获取二维坐标系上虚实线构成的图形的中心点与实线构成的图形的中心点，依据两点间的距离公式，得到有效感应值；将有效感应值与预设的参照阈值TT1进行比较分析，当有效感应值大于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置不当信号，当有效感应值小于等于预设的参照阈值TT1时，则生成标签感应位置放置正常信号；依据生成的标签感应位置放置不当信号，生成位置修正指令，并触发入库检修机制处理，据此生成二级故障分析指令或不生成任何指令；依据生成的标签感应位置放置正常信号或二级故障分析指令，实时获取光罩盒的放入状态信息中的标签电感电流值，当标签电感电流值为0时，则生成贴片无损坏信号，当标签电感电流值为稍大或无穷时，则生成贴片损坏信号，并触发入库检修机制处理，据此生成三级故障分析指令或不生成任何指令；依据贴片无损坏信号或三级故障分析指令，实时获取光罩盒对应的货位的天线接线电流值，当天线接线电流值为0时，则生成天线连接异常信号，并触发入库检修机制处理，当天线接线电流值不为0时，则生成手动入库指令，并通过服务器发送至显示控制终端，通过显示控制终端告知操作人员，操作人员手动将光罩盒入库；入库检修机制处理的具体操作步骤如下：将位置修正指令通过服务器发送至操作人员，当操作人员接收到位置修正指令时，将光罩盒重新放入货位中，并手动校对光罩盒标签的位置，使光罩盒上的贴片式标签处于天线感应范围内，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成二级故障分析指令；依据生成的贴片损坏信号，更换光罩盒的贴片式标签，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器，若对应的货位在显示屏上显示的颜色仍为红色，则生成三级故障分析指令；依据生成的天线连接异常信号，更换光罩盒对应货位的天线接线，此时，再次执行入库操作处理，若对应的货位在显示屏上显示的颜色由红色跳转为绿色，并触发用于电磁锁开关的继电器。

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