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申请/专利权人：上海晶维材料科技有限公司

摘要：本发明涉及吸气剂技术领域，尤其涉及IPCC23C14，更具体地涉及，一种多元合金靶材和多元合金薄膜吸气剂及其制备方法。本发明提供了一种多元合金靶材，其成分包括主体元素Ti、Zr、Ta或Nb、必选元素W和可选元素Mo、Cr、Mn、Ni、Y、Co、Ce、Fe或La；本发明中，必选元素W和可选元素M的添加、以及采用特殊制备靶材工艺、特殊的成膜工艺和特殊的低密度微米尺度缺陷与高密度纳米尺度缺陷的联合梯度结构设计，使得薄膜吸气剂在高的吸氢速率的基础上，同时具有高的吸氮速率；解决传统吸气薄膜中吸气性能与抗振动冲击能力的矛盾问题，提高了吸气剂所服役器件的寿命和可靠性，抗扩展了其应用领域。

主权项：1.一种多元合金靶材的制备方法，其特征在于，所述多元合金靶材的制备方法为通过放电等离子烧结技术或用真空冶炼技术制备中间合金A-M2，结合放电等离子烧结技术制备得到；所述多元合金靶材成分包括主体元素A、必选元素W和可选元素M；所述主体元素含量为50wt％～97wt％，必选元素W的含量为0.5～30wt%，可选元素M含量为0～20wt%，M≠0；所述主体元素A包括Ti、Zr、Ta、Nb元素中的一种或多种；所述可选元素M包括Mo、Cr、Mn、Ni、Y、Co、Ce、Fe、La中的一种或多种；所述主体元素A含量为65wt％～95wt％；必选元素W的含量为1～28wt%；可选元素M含量为0～20wt%，M≠0；所述可选元素M包括M1、M2中的一种或两种；所述M1包括Mo、Cr、Mn、Ni、Co、Fe中的一种或多种；M2包括Y、Ce、La中的一种或多种；所述的用真空冶炼技术制备中间合金A-M2，结合放电等离子烧结技术制备的多元合金靶材，配方为：A70-95W0.5-28M21-9wt%和A70-95W0.5-28M10.5～9%M21-9wt%，其靶材的制备方法为：将主体元素A和可选元素中的M2元素按比例混合，装入真空熔炼炉进行真空熔炼，形成含Ce、La、Y中一种或多种元素的中间合金，再通过破碎和球磨，制备成微米级别中间合金粉末，再将微米级别的中间合金粉末与纳米级的必选元素W或纳米级混合粉末混合，所述纳米级混合粉末为必选元素W和可选元素M1相混合粉末；然后压制成坯，对压制坯进行放电等离子烧结，制得合金靶坯，将所述合金靶坯进行机械加工，制得多元合金靶材。

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