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申请/专利权人：深圳市优界科技有限公司
摘要：本发明公开了一种适用于晶粒转移的载板承载装置，包括驱动组件及承载组件，驱动组件水平设置，并在水平面内包括纵向输出动力及横向输出动力；承载组件连接于驱动组件上，并经驱动组件驱动在水平面内沿纵向和或横向方向直线运动；承载组件内水平设有承载空间，承载空间的一侧为开放面；承载组件上沿竖直方向开设有通孔，通孔上下贯通承载空间。本发明具备位置及角度调整功能，实现晶粒转移前载板位置或角度调整以及转移过程中位置移动，采用一侧开口的水平腔体式承载空间用于支撑承载载板，并实现对载板上下及侧方位置限位，保证载板位置稳定性，同时采用柔性连接方式，实现柔性接触，有效减少载板损坏。
主权项：1.一种适用于晶粒转移的载板承载装置，水平设置，并对应设置于转移平台上方，转移平台上装载有空玻璃载板，其特征在于：包括驱动组件及承载组件（622），其中，上述转移平台在水平面内沿纵向及横向方向直线运动；上述驱动组件水平设置，并在水平面内包括纵向输出动力及横向输出动力；上述承载组件（622）连接于驱动组件上，并经驱动组件驱动在水平面内沿纵向和或横向方向直线运动；上述承载组件（622）内水平设有承载空间（G），承载空间（G）的一侧为开放面，以便装载有晶粒的蓝膜载板滑入；上述承载组件（622）上沿竖直方向开设有通孔（F），所述通孔（F）上下贯通承载空间（G）；上述蓝膜载板在承载空间（G）内时，其承载晶粒的蓝膜与通孔（F）上下对应，以便通孔（F）上方的探针下顶蓝膜，将蓝膜上的晶粒转移至转移平台上的空玻璃载板上；所述承载组件（622）包括承载支撑部件、承载旋转部件、承载支板（629）及承载部件，其中，上述承载支撑部件可滑动地连接于驱动组件的横向直线模组的输出端上；上述承载旋转部件设置于承载支撑部件下部，并在水平面内可旋转；上述承载支板（629）水平设置在承载旋转部件下部，经承载旋转部件驱动而旋转运动；上述承载部件连接在承载支板（629）下部，并与承载支板（629）沿竖直方向柔性连接，承载空间（G）设置于承载部件内。
全文数据：
权利要求：
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