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申请/专利权人：南京信息工程大学
摘要：本发明涉及应力传感器技术领域，具体是一种基于PDMSAlPDMS光波导结构的Fabry‑Perot和等离激元的双模三轴应力传感器及其制备方法，该应力传感器由PDMS、设置于PDMS内部的长矩形金属铝夹层组成，金属铝夹层中间由多个小矩形构成的齿型空隙；光可在PDMSAlPDMS波导结构传播，在金属铝的裂缝中形成Fabry‑Perot微腔，并激发SPP，PDMS为柔性基底，因此在X—Y—Z三维方向上的轻微应力都可引起的结构改变，在Z方向上形成Fabry‑Perot，在X、Y方向上激发Gap‑Spp，从而以高灵敏度的光学检测方法测量应力，同时具有高稳定、低外界干扰、便于携带的特性；相比于现有应力传感器，本发明中的结构和制备方法灵敏度高，可靠性高，成本低，体积小，功耗低，便于携带等。
主权项：1.一种基于PDMSAlPDMS光波导结构的Fabry-Perot和等离激元的双模三轴应力传感器，其特征在于：包括PDMS和设置于PDMS内部的金属铝夹层，所述金属铝夹层为长条矩形状，且金属铝夹层中间设置有齿型空隙，所述齿型空隙由多个截面为平行四边形长条构成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京信息工程大学 一种光波导结构的双模三轴应力传感器及其制备方法
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