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申请/专利权人：株洲火炬安泰新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法，属于ITO靶材技术领域，所述稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：将氯化镧溶解得到溶液A，低渗电炉升温后滴加蒸馏水，之后迅速放入钛酸钡粉体，同时滴加溶液A，冷却得到钛酸钡‑镧离子粉体，将钛酸钡‑镧离子粉体、氧化锡粉体、蒸馏水、十二烷基磺酸钠搅拌球磨，得到混合物A，将氧化铟粉体、蒸馏水、十二烷基磺酸钠、聚乙烯醇PVA搅拌均匀得到混合物B，将混合物A和混合物B进行砂磨，得到混合物C，将混合物C注入模器得到素坯，脱脂烧结后得到掺杂稀土离子的ITO靶材；本发明所制备的ITO靶材致密度高、导电性能好，密度均匀，产品形成率高。
主权项：1.一种稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、称取氯化镧，溶解后得到溶液A；第二步、用低渗电炉程序升温至700-850℃，温度稳定后向低渗电炉中滴加蒸馏水，将钛酸钡粉体放入低渗电炉中，向钛酸钡粉体中滴加溶液A，冷却至室温，得到钛酸钡-镧离子粉体；第三步、将钛酸钡-镧离子粉体、氧化锡粉体、蒸馏水、分散剂进行常温搅拌、球磨，得到混合物A；第四步、将氧化铟粉体、蒸馏水、分散剂、粘结剂搅拌均匀，得到混合物B，将混合物A和混合物B进行砂磨，得到混合物C；第五步、将混合物C注入到模器中，经过模压、保压后得到素坯，通入氧气脱脂烧结，降温至1000℃时停止通入氧气，冷却得到掺杂稀土离子的ITO靶材；第一步中1L溶液A中含有0.2mol氯化镧；第二步中钛酸钡粉体、溶液A的用量比为6.5-7.5g：100mL，溶液A的滴加速度为70-80滴min；第三步中钛酸钡-镧离子粉体、氧化锡粉体、蒸馏水、分散剂的质量比为0.8：4.2：2.5-3：0.07；第五步中脱脂烧结设置为两个温度阶段：第一阶段温度为900-1250℃，时间为3-4h，通入氧气量9-13Lmin，第二阶段温度为1450-1600℃，时间为5-6h，通入氧气量为15-17Lmin。
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