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申请/专利权人：内蒙古晶环电子材料有限公司;宁夏晶环新材料科技有限公司

摘要：本发明提供一种晶棒切削装置及晶片生产系统，晶棒切削装置包括撑线机构、移棒机构与辐照件，撑线机构包括多个并排且设置以形成撑线队列的辊轴，任意相邻两个辊轴之间形成轴隙，撑线机构供切割线绕设于多个辊轴；辐照件用于产生能量束以使能量束作用于晶棒的拟切割位置，能量束用于使拟切割位置产生嵌线口；移棒机构包括驱动器与至少一个棒托，棒托位于撑线队列的一侧并与轴隙一一对应，驱动器连接棒托及或撑线机构，用于驱使棒托与撑线队列相对靠近活动，以使切割线摩擦嵌线口并切割晶棒。

主权项：1.一种晶棒切削装置，用于将晶棒50切割为多段以获得多个晶片，其特征在于，包括：撑线机构10，包括多个并排且设置以形成撑线队列110的辊轴11，任意相邻两个所述辊轴11之间形成轴隙12，所述撑线机构10供切割线40绕设于多个所述辊轴11；辐照件30，用于产生能量束以使能量束作用于晶棒50的拟切割位置，所述能量束用于使所述拟切割位置产生嵌线口52；移棒机构20，包括驱动器与至少一个棒托21，所述棒托21位于所述撑线队列110的一侧并与所述轴隙12一一对应，所述驱动器连接所述棒托21与所述撑线机构10中至少一者，用于驱使所述棒托21与所述撑线队列110相对靠近，以使切割线40摩擦所述嵌线口52并切割晶棒50；分配件34，与所述辐照件30并排设置，且包括沿所述辊轴11的轴向交替排布的遮挡部341与通透部342，所述遮挡部341限制所述辐照件30的能量束通过，所述通透部342允许所述辐照件30的能量束通过；所述辐照件30包括多个发射部，多个所述发射部沿所述辊轴11的轴向彼此间隔地布设于所述撑线队列110相对靠近所述棒托21的一侧；所述辐照件30还包括安装架33，所述安装架33沿所述辊轴11的轴向延伸，所述安装架33的轴线平行于所述辊轴的轴线，其中：每个所述发射部沿所述安装架33的轴线延伸方向可移动地设于所述安装架33；及或，每个所述发射部绕所述安装架33的轴线可转动地设于所述安装架33；所述辐照件30还包括连接所述发射部的摆光部32，所述摆光部32用于驱动所述发射部沿预设摆光轨迹往复摆动；所述晶棒切削装置还包括具有摆荡轴的摆荡器22，所述摆荡轴平行于所述辊轴11的轴线，所述棒托21绕所述摆荡轴可往复摆动地设于所述摆荡器22；所述辊轴11包括开设有多个线槽112的主轴111，所述线槽112沿所述主轴111的轴向等距排布，所述通透部342与所述线槽112的数量相当，多个所述通透部342沿所述主轴111的轴向等距排布；及或，每个所述通透部342均开设有相互连通的通透孔3421与收束孔3422，所述收束孔3422位于所述通透孔3421靠近所述辐照件30的一端，所述收束孔3422的孔径沿远离所述辐照件30的方向减小，所述通透孔的孔径不大于所述收束孔的最小孔径，且不大于所述辊轴上的线槽宽度；所述晶棒切削装置还包括连接所述棒托21与所述辊轴11至少一者的轴向纠偏机构，所述轴向纠偏机构用于驱使所述棒托21与所述辊轴11沿所述辊轴11的轴向相对运动，所述辐照件30包括多个沿所述辊轴11的轴向排布的发射部，所述辊轴11包括多个沿所述辊轴11的轴向排布的线槽112，所述线槽112与所述发射部沿所述辊轴11的轴向逐个轮替排布。

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