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申请/专利权人：苏州茂特斯自动化设备有限公司
摘要：本发明涉及晶圆分拣领域，尤其涉及一种晶圆分拣机及其分拣方法。用于分拣晶粒，所述晶粒搭载于晶圆环固定的晶圆膜上，包括料仓、扩膜组件、塔式转运组件和编带封装组件。其中，料仓内部层叠储存有晶圆环，以及配合设置的将晶圆环从内部取出的夹爪；扩膜组件包括基台，所述基台上设置有扩膜机构和扩膜驱动机构，所述扩膜机构在扩膜驱动机构的带动下进行升降运动将晶圆膜扩膜；塔式转运组件用于单个晶粒依次自扩膜工位至下一工位的转运，包括第一转塔和与其轴线垂直的第二转塔；编带封装组件接收来自塔式转运组件运送的晶粒，进行编带封装。
主权项：1.一种晶圆分拣机，用于分拣晶粒，所述晶粒搭载于晶圆环固定的晶圆膜上，其特征在于，包括：料仓，内部层叠储存有晶圆环，以及配合设置的将晶圆环从内部取出的夹爪；扩膜组件，包括基台，所述基台上设置有扩膜机构和扩膜驱动机构，所述扩膜机构在扩膜驱动机构的带动下进行升降运动将晶圆膜扩膜；塔式转运组件，用于单个晶粒依次自扩膜工位至下一工位的转运，包括第一转塔和与其轴线垂直的第二转塔；编带封装组件，接收来自塔式转运组件运送的晶粒，进行编带封装；其中，所述第一转塔包括第一转塔主体，围绕第一转塔主体沿径向安装有多个第一吸附器；所述第二转塔包括第二转塔主体，围绕第二转塔主体沿径向安装有多个第二吸附器，距离最近的一对第一吸附器和第二吸附器所处工位设定为交接工位，所述晶粒于交接工位自第一转塔转运至第二转塔；所述塔式转运组件具有设置于第一转塔和第二转塔上的吸附驱动器，所述吸附驱动器驱动任意第一吸附器和第二吸附器沿径向运动；还设置有补偿机构，所述补偿机构包括检测端对应交接工位设置的测量单元；设定第一吸附器和第二吸附器于交接工位中的预设间距D1，以及交接动作时第一吸附器和第二吸附器相对运行距离S1；所述测量单元检测交接工位中第一吸附器和第二吸附器吸附端的实际间距D2，并控制吸附驱动器带动第一吸附器和第二吸附器相对运行S2距离；其中，所述S2=S1+D2-D1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州茂特斯自动化设备有限公司 一种晶圆分拣机及其分拣方法
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