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申请/专利权人：山东创瑞激光科技有限公司

摘要：本发明公开了一种便于检修的半导体气柜，涉及半导体气柜技术领域，包括：外架，所述外架内底部对称固定连接有第一滑轨，所述外架内顶部固定连接有齿板。本发明中，在柜体位移到位与放置架完成拆分后，此时柜体处于外架内部位置，侧柜门处于检修口位置，将侧柜门打开后，此时柜体内部由于放置架已经拆分出去，柜体内部处于空置状态，所以工作人员能够较为轻松的对柜体内部完成检修，而同时由于柜体后移完成拆分避让，放置架处于独立状态，放置架的外侧无柜体框架的遮挡，所以工作人员能够在无遮挡的情况下，完成对放置架以及配套半导体器件的检修工作，有效提升了对于半导体气柜检修工作的便捷性。

主权项：1.一种便于检修的半导体气柜，包括：外架（1），所述外架（1）内底部对称固定连接有第一滑轨（2），所述外架（1）内顶部固定连接有齿板（9）；其特征在于，还包括移动组件（3）、存放组件（4）以及驱动组件（5）；所述移动组件（3）用于带动气柜拆分方便检修，所述移动组件（3）滑动连接在第一滑轨（2）外表面，所述移动组件（3）包括两个第一滑块（301），两个所述第一滑块（301）顶部均固定连接有底架（302），两个所述底架（302）顶部之间固定连接有柜体（303），所述柜体（303）内顶部固定连接有第二滑轨（312），所述柜体（303）内表面固定连接有多个支架（308），所述支架（308）外表面与柜体（303）内表面之间固定连接有滑杆（309）；所述存放组件（4）用于对半导体器件进行存放，所述存放组件（4）位于柜体（303）内部位置，所述存放组件（4）包括两个连接架（403），两个所述连接架（403）之间固定连接有放置架（406）；所述驱动组件（5）用于驱动柜体（303）移动，所述驱动组件（5）固定连接在柜体（303）顶部，所述驱动组件（5）包括固定座（501）；所述柜体（303）底部开设有底槽（313），所述底槽（313）内表面固定连接有亚克力板（314），所述柜体（303）内顶部固定连接有第二滑轨（312），所述外架（1）内底部固定连接有第二延长架（6），所述第二延长架（6）顶部固定连接有第二磁吸板（7），所述第二磁吸板（7）顶部与亚克力板（314）底部贴合；其中一个所述连接架（403）顶部对称固定连接有固定杆（402），两个所述固定杆（402）上端面之间固定连接有第二滑块（401），所述第二滑块（401）内表面与第二滑轨（312）外表面滑动连接；另一个所述连接架（403）底部固定连接有第一延长架（411），所述第一延长架（411）底部固定连接有第一磁吸板（412），所述第一磁吸板（412）底部与亚克力板（314）顶部贴合，所述第一磁吸板（412）与第二磁吸板（7）呈配套设置，所述第一磁吸板（412）与第二磁吸板（7）相邻面为异性相吸状态。

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