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申请/专利权人：上海稷以科技有限公司

摘要：本发明提出了一种气体内外循环‑晶圆冷却方法及系统，该方法包括：内循环模式，该模式下晶圆传输区域处于氮气环境且循环过滤晶圆传输区域的金属颗粒、粉尘；外循环模式，该模式下晶圆传输区域将从氮气环境转变为大气环境且过滤晶圆传输区域的金属颗粒、粉尘；快速工艺模式，该模式下晶圆传输区域将从大气环境转变为氮气环境且过滤晶圆传输区域的金属颗粒、粉尘；晶圆冷却模式。本发明通过内外气体循环的方式，构建四种状态，提高切换效率。

主权项：1.一种气体内外循环-晶圆冷却系统，其特征在于，包括：外框架1，与关闭状态的人员进出门3、关闭状态的晶圆进出门2构成一个封闭的晶圆传输区域；所述晶圆进出门连接晶圆传输区域与晶圆盒；所述人员进出门供操作人员进入晶圆传输区域；送风组件4，置于晶圆传输区域内，其包括：送风组件框架4f，包括4个进气口和1个出气口，出气口连接高效过滤器4g的进气口，4个进气口分别连接额定氮气进气口4c、可调氮气进气口4b、大气进气口4a和内循环进气口4d；所述内循环进气口4d，连通晶圆传输区域和送风组件框架4f；所述高效过滤器4g，固定于送风组件框架（4f）的敞开端面以封闭送风组件框架4f；高效过滤器4g的进气口朝向送风组件框架4f设置以连通送风组件框架4f；排风区域5，用于将晶圆传输区域的氮气或者空气排出至外框架1外部，其包括：排风扇5a，用于抽取气体至排气区域本体；所述排气区域本体，为一中空结构，其顶板上安装螺栓、可移动的手动调节闸板5b，并开设若干排气口；手动调节闸板5b上开设与螺栓适配的卡槽；沿着螺栓移动卡槽，即实现手动调节闸板5b的移动；手动调节闸板5b位于排气孔的上方；及晶圆冷却组件7，用于将高温状态的晶圆冷却至室温，其设置于高效过滤器4g表面；内循环模式，该模式下晶圆传输区域处于氮气环境且循环过滤晶圆传输区域的金属颗粒、粉尘；具体包括以下步骤：打开可调氮气进气口4b、内循环进气口4d、高效过滤器4g；通过内循环进气口4d，气流从晶圆传输区域进入送风组件框架4f，再通过高效过滤器4g，气流从送风组件框架4f进入晶圆传输区域，形成闭环；外循环模式，该模式下晶圆传输区域将从氮气环境转变为大气环境且过滤晶圆传输区域的金属颗粒、粉尘，具体包括以下步骤：步骤1、首先打开大气进气口4a，外界空气通过送风组件框架（4f）的框架本体进入高效过滤器4g内，然后通过高效过滤器4g，将过滤后的空气，排入晶圆传输区域；步骤2、打开排风扇5a，从晶圆传输区域抽取氮气，经过排气区域本体排入厂务系统，加速晶圆传输区域的气体循环；步骤3、经过一段时间的气体循环，当确认晶圆传输区域的氧气浓度达到供维护人员呼吸的标准时，打开人员进出门3，供维护人员进出晶圆传输区域；快速工艺模式，该模式下晶圆传输区域将从大气环境转变为氮气环境且过滤晶圆传输区域的金属颗粒、粉尘；具体包括以下步骤：同时打开额定氮气进气口4c和可调氮气进气口4b，氮气进入送风组件框架4f的送风框架本体，经过高效过滤器4g后，排入晶圆传输区域；晶圆冷却模式，该模式下晶圆传输区域处于氮气环境，晶圆冷却组件7吹扫氮气，用来冷却晶圆。

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