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申请/专利权人：福建恒申电子材料科技有限公司
摘要：本实用新型硅烷充装容器的钝化装置，包括用于存储硅烷产品气的具有入口的钢瓶，所述钢瓶入口与第一管路的接口、第二管路的接口可拆连接，所述第一管路上设有若干个支管，该些支管分别连接高纯去离子水储罐、清洗剂储罐、氮气储罐、污水处理站和第一尾气处理器；所述第二管路上设有若干个分管，该些分管分别连接真空泵、第二尾气处理器、氦气储罐和硅烷储罐；所述支管和分管上连接有泵或开关阀；本实用新型提供的硅烷充装容器的钝化装置会在钢瓶或其它充装容器的内壁形成硅烷钝化膜，减少了硅烷气体对内壁的侵蚀，从而减少了金属杂质颗粒物的析出及减少侵蚀反应所产生的不纯物气体的量，并将硅烷充装容器的水分控制在0.5ppm以下。
主权项：1.一种硅烷充装容器的钝化装置，其特征在于：包括用于存储硅烷产品气的具有入口的钢瓶，所述钢瓶入口与第一管路的接口、第二管路的接口可拆连接，所述第一管路上设有若干个支管，该些支管分别连接高纯去离子水储罐、清洗剂储罐、氮气储罐、污水处理站和第一尾气处理器；所述第二管路上设有若干个分管，该些分管分别连接真空泵、第二尾气处理器、氦气储罐和硅烷储罐；所述支管和分管上连接有泵或开关阀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建恒申电子材料科技有限公司 硅烷充装容器的钝化装置
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