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一种MEMS器件清洗夹具 

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申请/专利权人:西安励德微系统科技有限公司

摘要:一种MEMS器件清洗夹具,包括清洗夹具主体,夹具一侧有通过螺纹连接的手持长柱体结构,另一侧为放置器件凹形结构,开口朝上,结构底部设计成圆弧形,可适配方形、圆形等多种外形MEMS器件,侧壁和底部都开有固定器件卡槽结构,卡槽宽度大于器件厚度,装载器件后为间隙配合,避免过紧配合造成器件边缘无法接触清洗溶剂和去离子水;在夹具主体侧壁与底部连接拐角位置设置斜向凹槽结构,使器件在去离子水冲洗过程中,冲洗流水沿此凹槽结构流走,减少溶液在器件边缘残留风险。本实用新型能够实现器件以垂直方位完成清洗的流程,减少镊子夹取对器件造成损伤和脏污风险,侧壁与底部连接拐角位置设置的斜向凹槽结构,减少液体残留风险,提高器件清洗效果及操作效率。

主权项:1.一种MEMS器件清洗夹具,其特征在于,包括立方形的夹具(1),夹具(1)一侧有通过螺纹连接的手持长柱体结构(2),另一侧为放置器件的凹形结构,结构底部设计成圆弧形,侧壁和底部都设置有固定器件的卡槽结构,夹具(1)采用聚四氟乙烯材质。

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