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申请/专利权人：苏州诚拓智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种轻量化高稳定性的石墨舟硅片吸附机构，其包括安装在机械手活动末端的安装板、等间距排列设置在所述安装板上的若干基板、安装在所述基板上的吸盘模组以及安装在所述安装板上的且与所述吸盘模组气路连通的总气管；所述基板为一体结构且在上部进行了加厚设计形成气路块，所述气路块内部设置有与所述总气管连通的气路通道；所述吸盘模组包括两路吸附管路，每路所述吸附管路包括竖向分布的第一吸盘与第二吸盘、一端连通所述气路通道且另一端连通所述第一吸盘的第一管道以及连通所述第一吸盘与所述第二吸盘的第二管道。本实用新型整体结构轻，且能够实现大尺寸硅片的稳定性吸附搬运，保障硅片能够可靠有效的进出石墨舟插槽。
主权项：1.一种轻量化高稳定性的石墨舟硅片吸附机构，其特征在于：其包括安装在机械手活动末端的安装板、等间距排列设置在所述安装板上的若干基板、安装在所述基板上的吸盘模组以及安装在所述安装板上的且与所述吸盘模组气路连通的总气管；所述基板为一体结构且在上部进行了加厚设计形成气路块，所述气路块内部设置有与所述总气管连通的气路通道；所述吸盘模组包括两路吸附管路，每路所述吸附管路包括竖向分布的第一吸盘与第二吸盘、一端连通所述气路通道且另一端连通所述第一吸盘的第一管道以及连通所述第一吸盘与所述第二吸盘的第二管道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州诚拓智能装备有限公司 一种轻量化高稳定性的石墨舟硅片吸附机构
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