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申请/专利权人：南通国和半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶片抛光装置，包括水槽，水槽的侧面分别开设进液口和出液口，水槽内注入清水，水槽的中心设置支撑柱，支撑柱的顶部设置定位盘，定位盘的外圈设置多个弧形结构的限位挡块，水槽的顶部设置盖板，盖板的中心开设通孔，盖板的左右两侧设置升降缸，升降缸的活塞杆顶部设置升降板，升降板的下方悬挂设置电机，电机的输出轴端部设置抛光盘，所述抛光盘位于定位盘的正上方，所述抛光盘和定位盘的边侧设置气嘴，所述气嘴上设置气管，所述气管延伸至水槽外部，且外接气源。本实用新型通过设置设置气嘴能够将产生的废尘从晶片表面吹落至水槽内，并被清水吸收，避免漂浮在空气中，确保人员健康和避免对环境造成污染。
主权项：1.一种半导体晶片抛光装置，其特征在于：包括水槽，所述水槽的侧面分别开设进液口和出液口，所述水槽内注入清水，所述水槽的中心设置支撑柱，所述支撑柱的顶部设置定位盘，所述定位盘的外圈设置多个弧形结构的限位挡块，所述水槽的顶部设置盖板，所述盖板的中心开设通孔，所述盖板的左右两侧设置升降缸，所述升降缸的活塞杆顶部设置升降板，所述升降板的下方悬挂设置电机，所述电机的输出轴端部设置抛光盘，所述抛光盘位于定位盘的正上方，所述抛光盘和定位盘的边侧设置气嘴，所述气嘴上设置气管，所述气管延伸至水槽外部，且外接气源。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通国和半导体设备有限公司 一种半导体晶片抛光装置
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