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压针结构和激光诱导金属化设备 

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申请/专利权人:拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司

摘要:本申请涉及半导体材料制造技术领域,尤其涉及一种压针结构和激光诱导金属化设备,解决了由于导电丝刚性高,导致片状材料碎片率和接触不良率高的问题。压针结构应用于激光诱导金属化设备,激光诱导金属化设备包括驱动结构,驱动结构被配置为驱动压针结构运动。压针结构包括:调节块、导向柱、导电片和弹簧。调节块与驱动结构连接,调节块具有导向孔;导向柱与调节块连接,并穿过导向孔;导电片与导向柱的第一端连接,在驱动结构的驱动下与片状材料接触或分离;弹簧套装于导向柱上,弹簧的一端与调节块抵接,另一端与导电片抵接,从而利用弹簧实现压针结构与片状材料的弹性接触,降低了片状材料的碎裂率和接触不良率。

主权项:1.一种压针结构,其特征在于,应用于激光诱导金属化设备,所述激光诱导金属化设备包括驱动结构,所述驱动结构被配置为驱动所述压针结构运动,以使所述压针结构与片状材料电连接;其中,所述压针结构包括:调节块,与所述驱动结构连接,其中,所述调节块具有导向孔;导向柱,与所述调节块连接,并穿过所述导向孔;导电片,与所述导向柱的第一端连接,并在所述驱动结构的驱动下与所述片状材料接触或分离;弹簧,套装于所述导向柱上,所述弹簧的一端与所述调节块抵接,另一端与所述导电片抵接。

全文数据:

权利要求:

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