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申请/专利权人:江苏集芯先进材料有限公司
摘要:本实用新型公开了一种碳化硅晶锭拆取装置,包括夹持组件、破碎刀和取锭刀,所述夹持组件用于夹持碳化硅晶锭;所述破碎刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于对碳化硅晶锭上的碳化硅多晶进行破碎;所述取锭刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于将碳化硅晶锭从坩埚盖上取下。其中,夹持组件的内侧壁上设有第一垫片。根据本实用新型的碳化硅晶锭拆取装置,能够满足在长晶结束后,将碳化硅晶锭从坩埚盖上取下的情况,实现取锭过程简洁化、易操作化,对人员的能力要求低,降低了人力和时间成本,减少了因人工操作不慎导致的晶锭破碎,提高了晶锭取出的成功率。
主权项:1.一种碳化硅晶锭拆取装置,其特征在于,包括:夹持组件,所述夹持组件用于夹持碳化硅晶锭;破碎刀,所述破碎刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于对碳化硅晶锭上的碳化硅多晶进行破碎;取锭刀,所述取锭刀能够拆卸地安装在所述夹持组件上,用于将碳化硅晶锭从坩埚盖上取下;其中,夹持组件的内侧壁上设有第一垫片。
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百度查询: 江苏集芯先进材料有限公司 碳化硅晶锭拆取装置
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