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申请/专利权人：上海洁安流体科技有限公司
摘要：本实用新型提供超高纯气体一进一出汇流排，涉及气体汇流排技术领域，包括初级过滤器、球阀、一级减压阀、精密过滤器、二级减压阀和低压隔膜阀，初级过滤器、球阀、一级减压阀、精密过滤器、二级减压阀和低压隔膜阀之间通过管道相连通，低压隔膜阀的输出端连通有排空隔膜阀，排空隔膜阀的数量为两组，两组排空隔膜阀之间安装有文丘里阀。本实用新型，通过设置该配有文丘里阀，利用负压作用抽空整体管路内部压力，以免有空气进入污染管道，使管道内部气体纯度更高，同时还设置有一级减压阀和二级减压阀共同调节压力，使得管道内部压力更加稳定，满足流量，并且初级过滤器和精密过滤器可以防止大颗粒杂质进入气路管道，进一步避免污染，保证纯度。
主权项：1.超高纯气体一进一出汇流排，包括初级过滤器1、球阀2、一级减压阀3、精密过滤器4、二级减压阀5和低压隔膜阀7，其特征在于：所述初级过滤器1、球阀2、一级减压阀3、精密过滤器4、二级减压阀5和低压隔膜阀7之间通过管道相连通，所述低压隔膜阀7的输出端连通有排空隔膜阀10，所述排空隔膜阀10的数量为两组，两组所述排空隔膜阀10之间安装有文丘里阀11，所述文丘里阀11的一端连通有排空管道。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海洁安流体科技有限公司 超高纯气体一进一出汇流排
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