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申请/专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供一种承漏分液装置，涉及半导体设备技术领域，包括：外槽体，外槽体的顶部开口并安装于湿法设备的漏液口下方，外槽体的底部的内壁设有电机，并且围绕电机设有分别对应多种液体收集器的多个排液管；内槽体，位于外槽体的内部并且安装于电机的旋转轴上，内槽体的底部设有滴液口，内槽体的顶部的开口对应湿法设备的漏液口，电机带动内槽体旋转使滴液口分别与各排液管对应。有益效果是可由电机带动内槽体旋转将内槽体的滴液口对应至与化学液的化学成分对应的排液管，将湿法设备的漏液分类收集，实现分类承漏。
主权项：1.一种承漏分液装置，其特征在于，包括：外槽体，所述外槽体的顶部开口并安装于湿法设备的漏液口下方，所述外槽体的底部的内壁设有电机，并且围绕所述电机设有分别对应多种液体收集器的多个排液管；内槽体，位于所述外槽体的内部并且安装于所述电机的旋转轴上，所述内槽体的底部设有滴液口，所述内槽体的顶部的开口对应所述湿法设备的漏液口，所述电机带动所述内槽体旋转使所述滴液口分别与各所述排液管对应。
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百度查询： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 江苏启微半导体设备有限公司 一种承漏分液装置
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