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申请/专利权人：南京芯视元电子有限公司

摘要：本申请提供一种芯片光学特性测试设备，涉及芯片检测技术领域，包括用于承载待测芯片的载片单元，载片单元可沿待测芯片所在的平面移动；检测单元用于朝向待测芯片出射光线，并采集待测芯片反射的调制后的光线；运动单元用于驱动载片单元和检测单元沿预设路径运动；控制单元分别和载片单元、检测单元和运动单元电连接，以控制载片单元、检测单元和运动单元，测试待测芯片的参数。设备集成度高，无需人为改变光路即可测试所有参数，精度高，稳定性好，首次光路对准后无需再次进行调整，更换不同的待测芯片即可连续测试，批量测试效率高；设备支持多点测量，通过控制待测芯片移动，测量待测芯片表面各个区域的光学特性，方便分析比对。

主权项：1.一种芯片光学特性测试设备，其特征在于，包括：用于承载待测芯片的载片单元，所述载片单元可沿所述待测芯片所在的平面移动；检测单元，用于朝向所述待测芯片出射光线，并采集所述待测芯片反射的调制后的所述光线；运动单元，用于驱动所述载片单元和所述检测单元沿预设路径运动；控制单元，分别和所述载片单元、所述待测芯片、所述检测单元和所述运动单元电连接，以控制所述载片单元、所述检测单元和所述运动单元，测试所述待测芯片的参数；所述载片单元包括载片平台以及设置于所述载片平台上的定位块，所述待测芯片位于所述定位块内；所述定位块通过所述载片平台连接真空泵，以用于将所述待测芯片吸附在所述定位块内；所述载片平台上还设置有反射镜，通过所述载片平台的移动以使所述反射镜位于所述待测芯片的位置，以检测所述待测芯片的反射率；所述检测单元包括依次设置的激光器、可旋转的偏振片、分光镜、聚焦透镜及探测器，所述分光镜的透射面设置设备腔体，所述设备腔体与所述偏振片分别相对设置在所述分光镜沿第一方向的两侧；所述分光镜为半透半反镜，所述分光镜和第二方向的光轴之间夹45°角；所述分光镜的反射面设置所述载片单元，所述分光镜的透射面还依次设置有聚焦透镜和探测器，所述聚焦透镜与所述载片单元分别相对设置在所述分光镜沿所述第二方向的两侧；所述第二方向和所述第一方向垂直；所述待测芯片和所述聚焦透镜之间的距离l＝f+△l，△l＝d1-11，f为所述聚焦透镜的物方焦距，n1为所述分光镜的材料折射率，d为所述分光镜的厚度；所述探测器位于所述聚焦透镜的像方焦面处；所述运动单元包括旋转电机、第一电动平台和第二电动平台，所述旋转电机和所述偏振片连接，以带动所述偏振片旋转；所述第一电动平台与所述载片单元连接，所述第二电动平台与所述探测器连接，所述第一电动平台和所述第二电动平台均通过丝杠和滑块的连接，实现x、y、z方向的移动。

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