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申请/专利权人：江苏中科智芯集成科技有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种挑片治具及晶圆，挑片治具包括：底板；固定柱；滑槽；固定组件；固定组件包括：固定部，与晶圆的固定环的边缘相接并固定；螺柱，与固定部相接；螺柱穿过滑槽，并可在滑槽内滑动，以及绕轴线转动；第一螺母，旋接于螺柱的周部；至少两个第一螺母分别设于固定柱的两侧；至少两个第一螺母夹持并拧紧在固定柱的两侧，使螺柱的位置及角度固定；本实用新型提供的挑片治具及晶圆，晶圆以适宜的高度与倾角，稳定固定在挑片治具上，实现晶粒挑取工作操作稳定、大大缩减作业时间的目的；取代操作者使用手部持握晶圆的方式，提高操作稳定性，减轻单个晶圆的操作工作中所需的人工劳力与作业时间，提高生产效率。
主权项：1.一种挑片治具，其特征在于，包括：底板1；固定柱2，至少两个固定柱2间隔设于所述底板1处；滑槽3，贯穿设于所述固定柱2处，并沿所述固定柱2的轴向延伸设置；固定组件4，设于所述固定柱2处，适于固定晶圆；所述固定组件4包括：固定部41，与所述晶圆的固定环8的边缘相接并固定；螺柱42，与所述固定部41相接；所述螺柱42穿过所述滑槽3设置，并可在所述滑槽3内滑动，以及绕轴线转动；第一螺母43，旋接于所述螺柱42的周部；至少两个第一螺母43分别设于所述固定柱2的两侧；其中，所述至少两个第一螺母43适于夹持并拧紧设置在所述固定柱2的两侧，使所述螺柱42的位置及角度固定。
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百度查询： 江苏中科智芯集成科技有限公司 挑片治具及晶圆
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