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一种涂布模头的气浮平移装置 

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申请/专利权人:江阴福昭精密涂布设备有限公司

摘要:本实用新型涉及的一种涂布模头的气浮平移装置,模头、模头移动框架组件和气浮块,所述模头移动框架组件包括左右对称设置的两块墙板,两块墙板之间设有墙板连接板连接,所述墙板连接板的底面通过模头安装板设置模头;所述墙板的底端连接气浮槽,气浮槽悬浮在涂布机台上,所述气浮槽的内壁至少设有一个气浮块;左右两个气浮槽之间设有下连梁连接。本实用新型大大提高了涂布厚度的稳定性和均一性,同事提升了产品的生产效率、产品的合格率以及产品的品质,实现纳米级高精度高效率平板涂布。

主权项:1.一种涂布模头的气浮平移装置,悬浮设置在涂布机台上,其特征在于:它包括模头(1)、模头移动框架组件(2)和气浮块(3),所述模头移动框架组件(2)包括左右对称设置的两块墙板(21),两块墙板(21)之间设有墙板连接板(25)连接,所述墙板连接板(25)的底面通过模头安装板(11)设置模头(1);所述墙板(21)的底端连接气浮槽,气浮槽悬浮在涂布机台上,所述气浮槽的内壁至少设有一个气浮块(3);左右两个气浮槽之间设有下连梁(29)连接。

全文数据:

权利要求:

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