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水冷却通道表面覆有PTFE耐腐蚀涂层的真空泵壳体 

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申请/专利权人:绍兴斯普瑞微纳科技有限公司

摘要:本实用新型公开了水冷却通道表面覆有PTFE耐腐蚀涂层的真空泵壳体,包括壳体主体,所述壳体主体的内部开设有外水冷通道和内水冷通道,所述外水冷通道和内水冷通道均呈螺旋管状设置,所述外水冷通道和内水冷通道内壁设有聚四氟乙烯耐腐蚀涂层,所述内水冷通道位于外水冷通道内部,所述内水冷通道靠近壳体主体的内侧壁,所述外水冷通道底端通过导流通道与内水冷通道底端相连通,所述壳体主体的侧壁上开设有进水孔和出水孔。本实用新型该装置通过在外水冷通道和内水冷通道表面设置聚四氟乙烯耐腐蚀涂层,提高了真空泵壳体的耐腐蚀性能和散热性能,延长了其使用寿命,同时该壳体结构简单,适用于大规模的工业生产。

主权项:1.水冷却通道表面覆有PTFE耐腐蚀涂层的真空泵壳体,包括壳体主体1,其特征在于,所述壳体主体1的内部开设有外水冷通道6和内水冷通道7,所述外水冷通道6和内水冷通道7均呈螺旋管状设置,所述外水冷通道6和内水冷通道7内壁设有聚四氟乙烯耐腐蚀涂层5,所述内水冷通道7位于外水冷通道6内部,所述内水冷通道7靠近壳体主体1的内侧壁,所述外水冷通道6底端通过导流通道8与内水冷通道7底端相连通,所述壳体主体1的侧壁上开设有进水孔3和出水孔4,所述进水孔3与内水冷通道7的上端相连通,所述出水孔4与外水冷通道6的上端相连通。

全文数据:

权利要求:

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