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一种光罩定位结构及光罩盒 

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申请/专利权人:深圳市辰中科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种光罩定位结构及光罩盒,光罩定位结构,包括:底座;支撑板,连接于所述底座上,以放置光罩;多个伸缩板,连接于所述底座上;多个挡板,连接于所述伸缩板上,所述挡板与所述光罩的侧壁接触;以及弹性件,位于所述底座、所述伸缩板和所述挡板之间,所述弹性件与所述挡板、所述底座接触。本实用新型可有效保护光罩,降低光罩盒和设备的运行风险,提高生产效率。

主权项:1.一种光罩定位结构,其特征在于,包括:底座;支撑板,连接于所述底座上,以放置光罩;多个伸缩板,连接于所述底座上;多个挡板,连接于所述伸缩板上,所述挡板与所述光罩的侧壁接触;以及弹性件,位于所述底座、所述伸缩板和所述挡板之间,所述弹性件与所述挡板、所述底座接触。

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