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申请/专利权人：意法半导体股份有限公司
摘要：本公开涉及MEMS设备和电子设备。MEMS设备由衬底和被悬挂在该衬底上的可移动结构形成。可移动结构具有第一质量块、第二质量块以及机械地耦合在它们之间的第一弹性组。第一弹性组沿第一方向是柔顺的。第一质量块被配置为沿第一方向相对于衬底移动。MEMS设备还具有：第二弹性组，机械地耦合在衬底与可移动结构之间并沿第一方向是柔顺的；以及锚定控制结构，被固定到衬底，电容性地耦合到第二质量块，并且被配置为沿第一方向在第二质量块上施加静电力。锚定控制结构控制MEMS设备处于第一操作状态，其中第二质量块沿第一方向相对于衬底自由移动，并且控制MEMS设备处于第二操作状态，其中锚定控制结构在第二质量块上施加将第二质量块锚定到锚定结构的拉入力。
主权项：1.一种MEMS设备，其特征在于，包括：衬底；可移动结构，被悬挂在所述衬底上，并且包括：第一质量块；第二质量块；以及第一弹性组，机械地耦合在所述第一质量块与所述第二质量块之间，所述第一弹性组沿着第一方向是柔顺的，所述第一质量块被配置为沿着所述第一方向相对于所述衬底移动；第二弹性组，机械地耦合在所述衬底与所述可移动结构之间，所述第二弹性组沿着所述第一方向是柔顺的；以及锚定控制结构，被固定到所述衬底，电容性地耦合到所述第二质量块，并且被配置为沿着所述第一方向在所述第二质量块上施加静电力，其中所述锚定控制结构被配置为：控制所述MEMS设备处于第一操作状态，其中所述第二质量块沿着所述第一方向相对于所述衬底自由移动，以及控制所述MEMS设备处于第二操作状态，其中所述锚定控制结构在所述第二质量块上施加使得能够将所述第二质量块锚定到所述锚定控制结构的拉入静电力，从而防止所述第二质量块响应于所述第一质量块的移动而相对于所述衬底移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 意法半导体股份有限公司 MEMS设备和电子设备
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