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申请/专利权人：苏州赛森电子科技有限公司
摘要：本申请涉及磁控溅射台领域，特别涉及一种金属溅射台手臂真空感应装置，本申请公开了一种金属溅射台手臂真空感应装置，其特征在于，包括：压力传感器，压力传感器设置在真空感应器内，压力传感器用于加检测真空感应器内的压力；中间继电器，中间继电器设置在压力传感器下，中间继电器的一端连接在压力传感器上，中间继电器用于控制提示信息；控制装置，控制装置的两端连接在压力传感器上，其中一端连接在中间继电器上，控制装置用于控制压力检测；机台，机台设置在中间继电器上，机台用于显示提示信息。解决了现有的感应器件容易损坏难以及时更换的问题，达到了不易损坏能够随时更换的效果。
主权项：1.一种金属溅射台手臂真空感应装置，其特征在于，包括：压力传感器，所述压力传感器设置在真空感应器内，所述压力传感器用于加检测所述真空感应器内的压力；中间继电器，所述中间继电器设置在所述压力传感器下，所述中间继电器的一端连接在所述压力传感器上，所述中间继电器用于控制提示信息；控制装置，所述控制装置的两端连接在所述压力传感器上，其中一端连接在所述中间继电器上，所述控制装置用于控制压力检测；机台，所述机台设置在所述中间继电器上，所述机台用于显示所述提示信息；所述真空感应器设置在手臂内，所述真空感应器的两端配有气口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州赛森电子科技有限公司 一种金属溅射台手臂真空感应装置
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