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申请/专利权人：无锡亚电智能装备有限公司
摘要：本申请涉及一种单片晶圆清洗装置的风道装置，属于晶圆清洗设备技术领域，气体从单片晶圆清洗装置的内腔进入集气组件、管道、分气组件并通过阀门进入风道，每个集气组件、管道、分气组件内的空间、子风道分别在单片晶圆清洗装置的不同清洗阶段工作，以将不同清洗阶段产生的废气排出。从而通过一个装置实现不同废气的排放，使得流道的布置更加简洁，整个装置安装更加方便。
主权项：1.一种单片晶圆清洗装置的风道装置，其特征在于，包括：风道1，竖直布置，具有并列的由隔板所分开的若干子风道，并且每个子风道均与底部的出风口11连接，所述风道1上布置有呈若干排和若干列布置的进风口10，相同高度的位于不同子风道的进风口10为一组；分气组件2，为若干个，每个分气组件2的中间分隔为与子风道数量相同的空间，所述分气组件2分别与每组的进风口10对应设置，并连通组内的每个进风口10；管道3，为若干个，每根管道3的一端连接分气组件2；集气组件4，为若干个，每个集气组件4与管道3的另一端连接，并与单片晶圆清洗装置的内腔连通；分气组件2与风道1上的进风口10连接的部位设置有阀门5，阀门5控制通断。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡亚电智能装备有限公司 一种单片晶圆清洗装置的风道装置
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