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申请/专利权人:内蒙古鑫环硅能科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种多晶硅冷氢化氢气回收系统,包括硅粉高压料斗、硅粉高压料斗除尘器、排放气过滤器、氢气压缩机、氢气STC混合器和冷氢化反应器;所述的硅粉高压料斗、硅粉高压料斗除尘器、排放气过滤器、氢气压缩机依次通过尾气管道连接;所述的氢气压缩机出口端与所述氢气STC混合器连接;所述硅粉高压料斗与所述氢气STC混合器出口端分别连接至所述的冷氢化反应器内。本系统可以回收利用氢气,同时可以降低冷氢化系统中氢气中氮含量。通过回收充压氢气,能整体降低冷氢化装置的能耗。通过增加变压吸附装置,能有效的去除氢气系统中的氮气含量和杂质含量,能有效保证产出三氯氢硅的质量。
主权项:1.一种多晶硅冷氢化氢气回收系统,其特征在于,包括硅粉高压料斗10、硅粉高压料斗除尘器20、排放气过滤器30、氢气压缩机50、氢气STC混合器110和冷氢化反应器100;所述的硅粉高压料斗10、硅粉高压料斗除尘器20、排放气过滤器30、氢气压缩机50依次通过尾气管道连接;所述的氢气压缩机50出口端与所述氢气STC混合器110连接;所述硅粉高压料斗10与所述氢气STC混合器110出口端分别连接至所述的冷氢化反应器100内。
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