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申请/专利权人：苏州诚拓智能装备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种双硅片归正装置，包括底座、设置在底座两侧的一号直线导轨和二号直线导轨、滑动设置在一号直线导轨上的左对齐组件、滑动设置在二号直线导轨上的右对齐组件以及设置在底座上用于驱动左对齐组件和右对齐组件在X方向相对运动的驱动组件。左对齐组件包括滑动设置在一号直线导轨上的一号板、分别设置在一号板两侧的一号滑动抵接件A和一号滑动抵接件B，右对齐组件包括滑动设置在二号直线导轨上的二号板，分别设置在二号板两侧的二号滑动抵接件A和二号滑动抵接件B，一号滑动抵接件B位于二号滑动抵接件A和二号滑动抵接件B之间。优点：能够同时实现对两个硅片进行归正对中，整个装置结构简单紧凑，占地小，成本低。
主权项：1.一种双硅片归正装置，包括底座1、设置在底座1一侧的一号直线导轨2、设置在底座1另一侧的二号直线导轨3、滑动设置在一号直线导轨2上的左对齐组件4、滑动设置在二号直线导轨3上的右对齐组件5以及设置在底座1上用于驱动左对齐组件4和右对齐组件5在X方向相向运动或相背运动的驱动组件6，其特征在于：所述左对齐组件4包括滑动设置在一号直线导轨2上的一号板41、分别设置在一号板41两侧的一号滑动抵接件A42和一号滑动抵接件B43，所述右对齐组件5包括滑动设置在二号直线导轨3上的二号板51，分别设置在二号板51两侧的二号滑动抵接件A52和二号滑动抵接件B53，所述一号滑动抵接件B43位于二号滑动抵接件A52和二号滑动抵接件B53之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州诚拓智能装备有限公司 一种双硅片归正装置
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