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申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，由盘体、第一支撑杆和第二支撑杆、第一卡紧柱和第二卡紧柱组成；第一支撑杆和第二支撑杆分别对晶圆起支撑作用，而后再分别卡入第一卡紧柱和第二卡紧柱的凹陷部内起到最终固定作用。由于所述第一卡紧柱到盘体中心的距离大于第一支撑杆到盘体中心的距离且小于所述第二支撑杆到盘体中心的距离，所述第二卡紧柱到盘体中心的距离大于第二支撑杆到盘体中心的距离，且设置不同的高度，使得晶圆支撑盘能够匹配两种不同尺寸的晶圆。
主权项：1.一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘，其特征在于，包括：盘体1，盘体1中间具有中心孔11，用于安装在转轴上，能够在转轴的带动下进行转动；第一支撑杆21和第二支撑杆22，所述第一支撑杆21和第二支撑杆22设置在盘体1顶部，且所述第一支撑杆21的高度低于所述第二支撑杆22，且所述第二支撑杆22到盘体1中心的距离大于所述第一支撑杆21到盘体1中心的距离；第一卡紧柱31和第二卡紧柱32，所述第一卡紧柱31和第二卡紧柱32包括直接安装在所述盘体1上的底部321，位于底部321上的中间段322，位于顶端的顶段323，所述顶段323设置有凹陷部，所述第一卡紧柱31的凹陷部的高度与所述第一支撑杆21的高度相等，所述第二卡紧柱32的凹陷部的高度与所述第二支撑杆22的高度相等，所述第一卡紧柱31到盘体1中心的距离大于第一支撑杆21到盘体1中心的距离且小于所述第二支撑杆22到盘体1中心的距离，所述第二卡紧柱32到盘体1中心的距离大于第二支撑杆22到盘体1中心的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种适应多尺寸晶圆清洗的晶圆支撑盘
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