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一种氧化铝制备设备、氧化铝膜制备方法及氧化铝膜 

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申请/专利权人:深圳劲嘉聚能科技有限公司

摘要:本发明提供的氧化铝制备设备、氧化铝膜制备方法及氧化铝膜,其中,氧化铝制备设备,包括真空腔体,所述真空腔体内设置有蒸发槽,所述蒸发槽上设置有蒸发舟和送气管,所述送气管的出气口位于所述蒸发舟的上方,且所述送气管的出气口的出气方向与蒸发舟蒸发铝金属的蒸发方向一致。本申请将送气管设置在蒸发舟与蒸发舟的上方位置,该送气管的出气口朝上,这样设置一方面出气口不会被堵住,一方面由于气体出来的方向和铝金属蒸发的方向一致,可以提高氧化铝与薄膜的结合力;另一方面氧化铝颗粒不会相互碰撞结合成大颗粒将薄膜扫穿,并且形成的氧化铝更加均匀。

主权项:1.一种氧化铝制备设备,包括真空腔体,其特征在于,所述真空腔体内设置有蒸发槽,所述蒸发槽上设置有蒸发舟和送气管,所述送气管的出气口位于所述蒸发舟的上方,且所述送气管的出气口的出气方向与蒸发舟蒸发铝金属的蒸发方向一致。

全文数据:

权利要求:

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