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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明属于MEMS气体传感器技术领域，公开了基于CMUTs的荧光‑质量双响应气体检测传感器、系统及方法，本发明传感器包括CMUTs，CMUTs具有振动薄膜和空腔，振动薄膜表面设有用于对目标痕量气体进行检测的敏感层，敏感层能够引起荧光强度变化。本发明能够利用敏感层附气体后的质量改变引起CMUTs的特征频率变化，使得CMUTs的阻抗相位‑频率曲线发生偏移，因此可以据此表征检测被吸附目标气体的质量或浓度。本发明敏感层能够引起荧光强度变化，利用脉冲荧光激发光纤，能够产生能量转移后荧光强度变化，通过荧光强度变化来检测气体种类和浓度。综上，本发明对现有CMUTs进行改造，并结合CMUTs谐振器和法布里‑珀罗腔，可实现高选择性、高灵敏度和低功耗的生化物质检测。
主权项：1.基于CMUTs的荧光-质量双响应气体检测传感器，其特征在于，包括CMUTs，所述CMUTs具有振动薄膜和空腔，所述振动薄膜表面设有用于对目标痕量气体进行检测的敏感层，所述敏感层能够引起荧光强度变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 基于CMUTs的荧光-质量双响应气体检测传感器、系统及方法
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