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申请/专利权人：京畿大学校产学协力团
摘要：本发明公开一种利用激光蚀刻的发光器件制造方法及用于其的发光器件制造装置，本发明的利用激光蚀刻的发光器件制造方法包括：第一发光层蒸镀步骤，在空穴移动层的上部面蒸镀第一发光层，上述空穴移动层蒸镀于阳极基板的上部面；第一发光器件形成步骤，利用激光对上述第一发光层进行蚀刻来形成第一发光器件；第二发光层蒸镀步骤，在包括向第一发光器件的周边露出的空穴移动层的上部面在内的区域蒸镀第二发光层；第二发光器件形成步骤，利用激光对上述第二发光层进行蚀刻来形成第二发光器件；第三发光层蒸镀步骤，在包括向上述第一发光器件和第二发光器件的周边露出的空穴移动层的上部面在内的区域蒸镀第三发光层；以及第三发光器件形成步骤，利用激光对上述第三发光层进行蚀刻来形成第三发光器件。
主权项：1.一种利用激光蚀刻的发光器件制造方法，其特征在于，包括：第一发光层蒸镀步骤，在空穴移动层的上部面蒸镀第一发光层，上述空穴移动层蒸镀于阳极基板的上部面；第一发光器件形成步骤，利用激光对上述第一发光层进行蚀刻来形成第一发光器件；第二发光层蒸镀步骤，在包括向第一发光器件的周边露出的空穴移动层的上部面在内的区域蒸镀第二发光层；第二发光器件形成步骤，利用激光对上述第二发光层进行蚀刻来形成第二发光器件；第三发光层蒸镀步骤，在包括向上述第一发光器件和第二发光器件的周边露出的空穴移动层的上部面在内的区域蒸镀第三发光层；第三发光器件形成步骤，利用激光对上述第三发光层进行蚀刻来形成第三发光器件；以及发光器件蚀刻步骤，用激光对上述第一发光器件、上述第二发光器件以及上述第三发光器件的上部面进行追加蚀刻，以相同的厚度形成上述第一发光器件、上述第二发光器件以及上述第三发光器件，并去除在上述第一发光器件和第二发光器件的上部面残留的有机物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京畿大学校产学协力团 利用激光蚀刻的发光器件制造方法及用于其的制造装置
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