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申请/专利权人：广东莱宝智能装备股份有限公司

摘要：本发明公开了一种平行光源非接触的单面自动光刻机，包括外罩、进出料组件、中间对位机构和相机模组，所述中间对位机构两侧均连接有进出料组件，中间对位机构设置在焊接支撑平台上，焊接支撑平台设置在外罩内部。本平行光源非接触的单面自动光刻机，采用LED平行光源，机械手搬运组件，斜式升降台，全图像定位系统有效实现全自动连线光刻作业，将产品送入一个无尘的机器中，从托轮组件传送到中间对位机构，产品由机械手搬运组件和斜式升降台将产品送到光刻平台加工，加工完，再由机械手搬运组件将产品送下来输送出来，本装置可以将产品精密度达到300微米，相对于传统加工产品来说，更加环保，精密。

主权项：1.一种平行光源非接触的单面自动光刻机，包括外罩1、进出料组件7、中间对位机构17和相机模组21，其特征在于：所述中间对位机构17两侧均连接有进出料组件7，中间对位机构17设置在焊接支撑平台34上，焊接支撑平台34设置在外罩1内部，外罩1顶部两侧设有FFU过滤单元2，左侧FFU过滤单元2后方设有排风口3，外罩1左侧设有出料口4，正面设有显示屏5和控制面板6，显示屏5设置在控制面板6上方；所述进出料组件7底部设有支撑座8，支撑座8中间设有支撑座气缸9，右侧设有支撑座电机10，支撑座气缸9上方设有气缸支撑座11，气缸支撑座11通过支撑腿固定在支撑座8上，气缸支撑座11左侧支撑腿上连接有托轮电机12，气缸支撑座11左侧与气缸13连接，气缸支撑座11尾端与机械手搬运组件14连接，气缸支撑座11中间设有托轮组件15，托轮组件15两侧上方设有定位轮16；所述中间对位机构17底部设有丝杠18，丝杠18右侧与丝杠电机19连接，上方设有斜式升降台20，斜式升降台20上方设有相机模组21，斜式升降台20与相机模组21之间设有相机支撑板39，相机支撑板39四周设置的支撑柱与镂空支撑板25连接，相机模组21左侧设有UVW对位平台22和对位平台电机23，UVW对位平台22位于对位平台电机23右侧，UVW对位平台22上方设有探针电机24，探针电机24顶端与镂空支撑板25连接，镂空支撑板25底部设有探针26，顶部设有基准电机27，基准电机27前端设有定位轮16；所述相机模组21底部设有相机支撑座28，相机支撑座28连接在支撑板29的两端，支撑板29上设有X轴控制电机30，X轴控制电机30上方设有Y轴控制电机31，Y轴控制电机31上方设有Z轴控制电机32，Z轴控制电机32左侧与光源相机33连接；所述托轮组件15中间设有从动轴35，从动轴35上套有托轮36和带轮37，托轮36和带轮37通过轴承38连接；所述丝杠电机19两侧均设有小支撑板40，小支撑板40通过支撑柱与相机支撑板39连接。

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