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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供了一种双模态传感器及其数据处理方法，该双模态传感器包括：活性层，设置于柔性衬底上；第一传感元件和第二传感元件，设置于活性层上；第二传感元件对称设置于第一传感元件两侧；第一传感元件和第二传感元件被配置为共用一个工作电极；填充层，设置于第一传感元件上，填充层的高度配置为第一传感元件和第二传感元件之间的高度差。
主权项：1.一种双模态传感器，包括：活性层，设置于柔性衬底上，所述活性层具有热电性质和压阻性能；第一传感元件和第二传感元件，设置于所述活性层上；所述第二传感元件对称设置于所述第一传感元件两侧；所述第一传感元件和所述第二传感元件被配置为共用一个工作电极；填充层，设置于所述第一传感元件上，所述填充层的高度配置为所述第一传感元件和所述第二传感元件之间的高度差；其中，所述第一传感元件包括：第一对电极，沿第一轴线设置于所述活性层上；所述第一对电极与所述工作电极通过所述活性层电性相连；所述第二传感元件包括：第二对电极，沿第一轴线设置于所述活性层上，且所述第二对电极对称设置于所述第一对电极两侧；所述第二对电极与所述工作电极通过所述活性层电性相连；所述工作电极沿第二轴线设置于所述活性层上，所述第一轴线与所述第二轴线相互平行；其中，相邻所述第一对电极和所述第二对电极之间的距离大于所述第一对电极或所述第二对电极与所述工作电极之间的距离；或者相邻所述第二对电极之间的距离大于所述第一对电极或所述第二对电极与所述工作电极之间的距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 双模态传感器及其数据处理方法
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