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申请/专利权人：胜宏科技(惠州)股份有限公司;胜华电子(惠阳)有限公司
摘要：本发明涉及一种氨水辅助退膜方法，所述方法为在基板水平通过退膜槽时，氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋，所述喷淋方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法。具体包括如下步骤，S1：氨水保存，将氨水保存在塑料桶中；S2：通过负压机接入导管，将氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下进入退膜槽；S3：在基板水平通过退膜槽时，氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气，并在后续不断喷进的氨水打入挤压，氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面，氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水，完成退膜。本发明氨水辅助退膜方法具有退膜干净、不易被腐蚀和造成残留等优点。
主权项：1.一种氨水辅助退膜方法，其特征在于，所述方法为在基板水平通过退膜槽时，氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋，所述喷淋的方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法，所述方法包括如下步骤，S1：氨水保存，将氨水保存在塑料桶中，所述氨水是浓氨水；S2：通过负压机接入导管，将氨水通入退膜槽中，氨水在力的作用下进入退膜槽；S3：在基板水平通过退膜槽时，氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气，并在后续不断喷进的氨水打入挤压，氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面，氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水，完成退膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 胜宏科技(惠州)股份有限公司 胜华电子(惠阳)有限公司 一种氨水辅助退膜方法
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