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一种任意角度透过率测量装置及其测量方法 

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申请/专利权人:北京创思工贸有限公司

摘要:一种任意角度透过率测量装置,包括安装座,所述安装座上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮,第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮上分别固定连接有第一镜片座、第二镜片座和第三镜片座;所述第一联动齿轮与第二联动齿轮之间通过一对第四联动齿轮相连接,第二联动齿轮与第三联动齿轮之间通过一对第五联动齿轮相连接;所述第三镜片座一侧的安装座上安装有第四镜片座。本发明的有益效果是由于支持大范围内的角度调节,在测量不同入射角度透过率时可以大大降低工装制作和调试时间,并且随动的联动齿轮也可以进一步的降低多次调解带来的角度误差,测量更准确。

主权项:1.一种任意角度透过率测量装置,包括安装座10,其特征在于,所述安装座10上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮1、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3,第一联动齿轮1、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3上分别固定连接有第一镜片座5、第二镜片座6和第三镜片座7;所述第一联动齿轮1与第二联动齿轮2之间通过一对第四联动齿轮8相连接,第二联动齿轮2与第三联动齿轮3之间通过一对第五联动齿轮9相连接;所述第三镜片座7一侧的安装座10上安装有第四镜片座4,所述第一镜片座5和第四镜片座4上均安装有表盘11,所述第一联动齿轮1、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3的直径相等,两个所述第四联动齿轮8相啮合,两个所述第五联动齿轮9相啮合,所述第四联动齿轮8和第五联动齿轮9的直径均相等,且第四联动齿轮8直径小于第一联动齿轮1直径;基于上述测量装置的任意角度透过率的测量方法,该方法包括以下步骤:1校准光路:根据表盘11上显示的入射角度,调整第四联动齿轮8,在第一镜片座5和第二镜片座6上加装未镀膜的补偿片,第一联动齿轮1和第二联动齿轮2使补偿片具有相同的入射角,同时第三镜片座7拥有相同的入射角,并且与第一镜片座5平行;2测试光路:将校准光路的未镀膜补偿片加装在第四镜片座4上,此时第一镜片座5、第二镜片座6和第三镜片座7的角度不再调整,待测样品放置在第四镜片座4上,待测样品根据计算单独调整角度,调整好光路,实现光路补偿的绝对透过率测试。

全文数据:一种任意角度透过率测量装置及其测量方法技术领域[0001]本发明涉及光学元件镀制薄膜检测技术领域,具体涉及一种任意角度透过率测量装置及其测量方法。背景技术[0002]目前对于光学元件镀制薄膜的检测主要利用分光光度计,利用透射率及反射率测量准确掌握各波段范围内薄膜材料的光学性能,目前对于Lambda950型分光光度计的非0。入射角透过率测试,仍然使用简单的固定工装,即使用45。角度垫板辅助测量,校准光路为样品池空测,测试光路防止待测样品。[0003]现阶段所使用的分光光度计测量系统是固定系统,只能实现特殊角度0。45。)样品透射率和反射率的测量,且目前的检测方法校准光路与检测光路会引进过多的系统误差,严重影响光学薄膜在全波段下的检测。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种任意角度透过率测量装置及其测量方法,以解决上述背景技术中提出的问题。[0005]为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:[0006]—种任意角度透过率测量装置,包括安装座,所述安装座上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮,第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮上分别固定连接有第一镜片座、第二镜片座和第三镜片座;所述第一联动齿轮与第二联动齿轮之间通过一对第四联动齿轮相连接,第二联动齿轮与第三联动齿轮之间通过一对第五联动齿轮相连接;所述第三镜片座一侧的安装座上安装有第四镜片座,所述第一镜片座和第四镜片座上均安装有表盘。[0007]作为本发明进一步的方案是:所述第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮的直径相等。[0008]作为本发明再进一步的方案是:两个所述第四联动齿轮相啮合。[0009]作为本发明再进一步的方案是:两个所述第五联动齿轮相啮合。[0010]作为本发明再进一步的方案是:所述第四联动齿轮和第五联动齿轮的直径均相且第四联动齿轮直径小于第一联动齿轮直径。[0011]—种任意角度透过率的测量方法,包括使用任意角度透过率测量装置,该方法包括以下步骤:[0012]1校准光路:根据表盘上显示的入射角度,调整第四联动齿轮,在第一镜片座和第二镜片座上加装未镀膜的补偿片,第一联动齿轮和第二联动齿轮使补偿片具有相同的入射角,同时第三镜片座拥有相同的入射角,并且与第一镜片座平行;[0013]2测试光路:将校准光路的未镀膜补偿片加装在第四镜片座上,此时第一镜片座、第二镜片座和第三镜片座的角度不再调整,待测样品放置在第四镜片座上,待测样品根据计算单独调整角度,调整好光路,实现光路补偿的绝对透过率测试。[0014]本发明的有益效果是[0015]1、由于支持大范围内的角度调节,在测量不同入射角度透过率时可以大大降低工装制作和调试时间,并且随动的联动齿轮也可以进一步的降低多次调解带来的角度误差,测量更准确;^[0016]2、双光路补偿的设计,可以有效减少由于光程差和靶面检测位置偏移带来的系统误差,进一步提高检测精度。附图说明[0017]图1为本发明的立体结构示意图;[0018]图2为本发明的A向示意图。[0019]图中:1、第一联动齿轮;2、第二联动齿轮;3第三联动齿轮;4、第四镜片座;5、第一镜片座;6、第二镜片座;7、第三镜片座;8、第四联动齿轮;9-第五联动齿轮;1〇、安装座;;u、表盘。具体实施方式[0020]下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。[0021]请参阅图1和图2,本发明实施例中,一种任意角度透过率测量装置,包括安装座10,所述安装座10上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮丨、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3,第一联动齿轮1、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3上分别固定连接有第一镜片座5、第二镜片座6和第三镜片座7;所述第一联动齿轮1与第二联动齿轮2之间通过一对第四联动齿轮8相连接,第二联动齿轮2与第三联动齿轮3之间通过一对第五联动齿轮9相连接,第一联动齿轮1、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3在第四联动齿轮8和第五联动齿轮9的作用下转动,从而实现第一镜片座5、第二镜片座6和第三镜片座7的转动;所述第三镜片座7一侧的安装座10上安装有第四镜片座4,第四镜片座4在测量时不运动,所述第一镜片座5和第四镜片座4上均安装有表盘1i,在工作时,第一镜片座5和第二镜片座6对称(随动),第一镜片座5和第三镜片座6平行随动),第四镜片座4不随动。[0022]所述第一联动齿轮1、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3的直径相等。[0023]两个所述第四联动齿轮8相啮合,两个所述第五联动齿轮9相啮合。[0024]所述第四联动齿轮8和第五联动齿轮9的直径均相等,且第四联动齿轮8直径小于第一联动齿轮1直径。[0025]一种任意角度透过率的测量方法,包括使用任意角度透过率测量装置,该方法包括以下步骤:[0026]_⑴校准光路:根据表盘11上显示的入射角度,调整第四联动齿轮8,在第一镜片座5和第二镜片座6上加装未镀膜的补偿片,第一联动齿轮丨和第二联动齿轮2使补偿片具有相同的入射角,同时第三镜片座7拥有相同的入射角,并且与第一镜片座5平行;[0027]2测试光路:将校准光路的未镀膜补偿片加装在第四镜片座4上,此时第一镜片座5、第二镜片座6和第三镜片座7的角度不再调整,待测样品放置在第四镜片座4上,待测样品根据计算单独调整角度,调整好光路,实现光路补偿的绝对透过率测试。[0028]对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。[0029]此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

权利要求:1.一种任意角度透过率测量装置,包括安装座(10,其特征在于,所述安装座(10上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮1、第二联动齿轮2和第三联动齿轮3,第一联动齿轮(1、第二联动齿轮⑵和第三联动齿轮3上分别固定连接有第一镜片座5、第二镜片座6和第三镜片座7;所述第一联动齿轮⑴与第二联动齿轮⑵之间通过一对第四联动齿轮8相连接,第二联动齿轮2与第三联动齿轮3之间通过一对第五联动齿轮9相连接;所述第三镜片座7—侧的安装座(10上安装有第四镜片座4,所述第一镜片座5和第四镜片座6上均安装有表盘11。2.根据权利要求1所述的一种任意角度透过率测量装置,其特征在于,所述第一联动齿轮1、第二联动齿轮⑵和第三联动齿轮3的直径相等。3.根据权利要求1所述的一种任意角度透过率测量装置,其特征在于,两个所述第四联动齿轮⑻相啮合。4.根据权利要求3所述的一种任意角度透过率测量装置,其特征在于,两个所述第五联动齿轮9相啮合。5.根据权利要求1-4任一所述的一种任意角度透过率测量装置,其特征在于,所述第四联动齿轮8和第五联动齿轮9的直径均相等,且第四联动齿轮8直径小于第一联动齿轮⑴直径。6.—种任意角度透过率的测量方法,包括使用权利要求1所述的任意角度透过率测量装置,该方法包括以下步骤:1校准光路:根据表盘11上显示的入射角度,调整第四联动齿轮8,在第一镜片座5和第二镜片座6上加装未镀膜的补偿片,第一联动齿轮(1和第二联动齿轮2使补偿片具有相同的入射角,同时第三镜片座7拥有相同的入射角,并且与第一镜片座5平行;2测试光路:将校准光路的未镀膜补偿片加装在第四镜片座4上,此时第一镜片座5、第二镜片座⑹和第三镜片座⑺的角度不再调整,待测样品放置在第四镜片座⑷上,待测样品根据计算单独调整角度,调整好光路,实现光路补偿的绝对透过率测试。

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