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申请/专利权人：南方科技大学
摘要：本申请涉及一种真空腔门及真空设备，真空腔门包括腔门本体与冷却管，腔门本体包括相对设置的第一表面与第二表面，第一表面用于在腔门本体封闭真空腔体中的真空腔时覆盖真空腔的开口。第二表面上设有冷却槽。冷却管设于冷却槽内。本申请中当冷却液流经设于腔门本体的冷却管时，冷却液能够带走真空腔传递至腔门本体的热量。因此，当腔门本体封闭真空腔体中的真空腔时，流经冷却管内的冷却液能够有效地对腔门本体以及真空腔进行冷却。另外，由于冷却管设于腔门本体的表面，所以在该腔门本体上布置冷却管时，无需减薄腔门本体以及埋填冷却管。因而该真空腔门具有较好的强度，所以在使用过程中该真空腔门不易于发生形变，有利于提高使用寿命与可靠性。
主权项：1.一种真空腔门，其特征在于，包括：腔门本体，所述腔门本体包括相对设置的第一表面与第二表面，所述第一表面用于在所述腔门本体封闭真空腔体中的真空腔时覆盖所述真空腔的开口；所述第二表面上设有冷却槽；冷却管，所述冷却管设于所述冷却槽内。
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