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申请/专利权人：东京应化工业株式会社

摘要：提供一种在表面具备金属层的基板上形成作为制作镀覆造形物的工艺的铸模的图案的化学放大型正型感光性组合物，该化学放大型正型感光性组合物容易形成具有形成有较大的底切且底脚得以抑制的截面形状的抗蚀剂图案。使用如下化学放大型正型感光性组合物，其包含：产酸剂A，通过活性光线或者放射线的照射而产生酸；树脂B，对碱的溶解性因酸的作用而增大；含硫化合物E，包含能够与基板的金属层配位的硫原子；酸扩散抑制剂F；有机溶剂S，树脂B包含含特定的结构单元B3‑1的丙烯酸树脂B3，该化学放大型正型感光性组合物的通过特定的工序1～4求出的产酸剂A的分解率％超过0.5且小于10。

主权项：1.一种化学放大型正型感光性组合物，其在表面具备金属层的基板上形成作为制作镀覆造形物的工艺的铸模的图案，其特征在于，包含：产酸剂A，通过活性光线或者放射线的照射而产生酸；树脂B，对碱的溶解性因酸的作用而增大；含硫化合物E，包含能够与所述金属层配位的硫原子；酸扩散抑制剂F；有机溶剂S，所述树脂B包含丙烯酸树脂B3，所述丙烯酸树脂B3包含源自酸解离性甲基丙烯酸脂环式酯的结构单元B3-1，在所述酸解离性甲基丙烯酸脂环式酯中，脂环式基包含叔碳原子作为成环元素，且所述脂环式基所具有的所述叔碳原子与所述酸解离性甲基丙烯酸脂环式酯中的酯基中的羰基氧以外的氧原子键合而形成C-O键，所述化学放大型正型感光性组合物满足以下的[条件1]，[条件1]通过以下的工序1～4求出的产酸剂A的分解率％超过0.5且小于10，1将所述化学放大型正型感光性组合物涂布于在表面具有通过溅射法形成的铜层的基板，由此形成厚度8.5μm的树脂膜；2将形成有所述树脂膜的所述基板以140℃加热300秒钟；3削取所述加热后的所述树脂膜的一部分，将削取的树脂膜以固体成分浓度成为20质量％的方式溶解于丙二醇单甲醚乙酸酯PM后，加入削取的树脂膜的质量的15倍质量的乙腈，将去除沉淀物后的液体作为试验液；4利用丙二醇单甲醚乙酸酯PM将所述化学放大型正型感光性组合物以固体成分浓度成为20质量％的方式进行稀释后，加入所述化学放大型正型感光性组合物的固体成分的质量的15倍质量的乙腈，利用液相色谱法分别对去除沉淀物后的液体与所述试验液进行分析，由此求出以下述式a表示的产酸剂A的分解率％，产酸剂A的分解率％＝1-xy×100..·a式a中，x为树脂膜中的产酸剂A的含量质量％，y为化学放大型正型感光性组合物的固体成分中的产酸剂A的含量质量％。

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百度查询： 东京应化工业株式会社 化学放大型正型感光性组合物、带铸模基板的制造方法及镀覆造形物的制造方法