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申请/专利权人：ISTEQ私人有限公司;ISTEQ集团控股有限公司
摘要：本发明涉及具有连续光放电COD的等离子体光源。该光源包含带有辐射等离子体的区域的气体填充隔室，该辐射等离子体的区域通过CW激光器的聚焦束维持。隔室中的气体颗粒的密度小于90·1019cm‑3，并且隔室的内表面的温度不低于600K。优选地，气体颗粒的密度尽可能地低并且在隔室中提供约50巴或更高的气体压力的情况下，在工作中的隔室的内表面的温度尽可能高。本发明的技术结果在于提供COD维持条件，该COD维持条件对于实现辐射等离子体的高度稳定性和高亮度是最佳的，在此基础上产生亮度和稳定性超高的宽带光源。
主权项：1.一种激光泵浦等离子体光源，包括：气体填充隔室，所述隔室至少一部分是光学透明的；等离子体点火装置；由连续波激光器的聚焦束维持在所述隔室中的辐射等离子体的区域，以及离开所述隔室的等离子体辐射的至少一个输出束，其中，等离子体辐射的输出束的连续产生，其特征在于光谱亮度高，高于50mWmm2·nm·sr，并且所述亮度的相对标准偏差σ低，低于0.1％，是通过隔室中气体颗粒的密度为45·1019cm-3至90·1019cm-3，并且所述隔室的内表面的温度在600K至900K的范围内的事实实现。
全文数据：
权利要求：
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