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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本文中的实施方案涉及将一或多种材料电镀至衬底上的装置和方法。本文中的实施方案在电镀槽中使用横流导管以将来自衬底与定位于衬底附近的具有通道的离子阻性板之间的区域的流体流转向向下至低于流体容纳单元中的流体水平的水平，流体容纳单元用于收集来自电镀系统的溢流流体而进行再循环。横流导管可包含被切割至电镀槽的组件中的通道以允许转向流、或可包含可安装至现行电镀槽的可附接转向设备以使液流向下转向至流体容纳单元。实施方案还包含流动限制器，其可以是用于在电镀期间调节横流导管中的流体流的板、或释压阀。
主权项：1.一种电镀装置，其包含：电镀槽，其被配置成在将金属电镀至衬底上时容纳电解液与阳极，所述电镀槽具有流体容纳单元的室壁，所述流体容纳单元在电镀期间具有流体水平；衬底保持器，其被配置成保持所述衬底，使得所述衬底的电镀面在电镀期间与所述阳极分离；有通道的离子阻性板，其包含通过横流区域与所述衬底的所述电镀面分离的朝向衬底的表面；所述横流区域的横流入口，其用于向所述横流区域提供电解液；以及横流导管，其包含通道，所述通道用于使来自所述横流区域的所述电解液转向至向所述电镀槽的所述流体容纳单元馈送的出口，所述出口低于所述流体水平且所述横流区域介于所述横流入口与所述横流导管之间，其中所述电镀装置还包含在所述有通道的离子阻性板下方的膜框架，其中所述横流导管还包含所述膜框架中的第二通道，所述第二通道用于使来自所述横流区域的所述电解液流至通向所述电镀槽的所述流体容纳单元的入口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于防止在高对流电镀槽中起泡的横流导管
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