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申请/专利权人：汉得利(常州)电子股份有限公司
摘要：本实用新型涉及压电微泵技术领域，尤其涉及一种高背压、高止逆性的多阀微型压电泵，其中，压电振子在电场作用下径向压缩，使压电振子弯曲变形，进而带动泵腔间隙内部压强变化，实现泵体底部进液口和出液口对液体的吸入以及泵出。压电泵除了压电陶瓷以外，采用全金属结构，极大加强整体结构的稳定性，通过提高微型压电泵的材料强度，使其能够承受更大的背压。逆止阀组中的入口阀包括第一入口阀片和第二入口阀片，出口阀包括第一出口阀片和第二出口阀片，均采用多阀设计，极大增强了止逆效果，保证了高背压的可实现性，实现流量的高稳定性。微型压电泵为多层结构，采用固相扩散焊接的结合方式，对泵结构的影响微乎其微，且拥有较大的成本优势。
主权项：1.一种高背压、高止逆性的多阀微型压电泵，其特征在于，包括泵体1以及设置其上的压电振子2和逆止阀组3，所述压电振子2和所述逆止阀组3分别位于所述泵体1的泵腔间隙16两侧；所述压电振子2设置在所述泵体1顶部，在所述泵体1底部开设有进液口141和出液口142，所述进液口141和所述出液口142均通过所述逆止阀组3与所述泵腔间隙16相连通，在所述逆止阀组3上设置有中间流道34，并将所述进液口141和所述出液口142分别与所述泵腔间隙16相连通；所述泵体1和所述逆止阀组3均采用金属材质，所述压电振子2包括压电陶瓷21和电极22，所述压电陶瓷21的负极与所述泵体1相连，所述电极22通过溅射工艺成型于所述泵体1上。
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