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申请/专利权人：欧波同科技产业有限公司

摘要：本发明属于电镜物质识别分析技术领域，具体涉及一种夹杂物分析中用元素摩尔比进行颗粒识别的方法，先根据颗粒物质的化学式得到物质中各种元素原子的摩尔百分比，进行比对，其步骤如下：1）获得所有待测量帧图的位置，并对待测量帧图进行排序；2）控制电镜移动样品台到某一指定位置；3）拍摄并处理待测量帧图；4）获取所有打Xray的颗粒；5）采集所有Xray元素信息，进行元素分析，得到元素的重量百分比；6）将重量百分比换算成摩尔百分比；7）判断是否是硫化物夹杂物；8）判断是否是氮化物夹杂物；9）判断是否是氧化物夹杂物；10）如果前面步骤未识别成功，定义为“未识别夹杂物”。本发明对于各种复合夹杂物（如尖晶石）的识别非常有效。

主权项：1.一种夹杂物分析中用元素摩尔比进行颗粒识别的方法，其特征在于，先根据颗粒物质的化学式得到物质中各种元素原子的摩尔百分比，再将采集到的颗粒中所含的元素的重量百分比转换为摩尔比，然后进行比对，根据比对的结果得到颗粒的物质种类的识别，其步骤如下：1）获得所有待测量帧图的位置，并对待测量帧图进行排序；2）控制电镜移动样品台到某一指定位置；3）拍摄并处理待测量帧图，拍摄待测量帧图的BSE图像得到BMP图像；设定图像帧的背景灰度范围，根据背景灰度范围去掉帧图背景像素，将剩余前景图像识别为目标颗粒；4）获取所有打Xray的目标颗粒；5）根据目标颗粒的大小位置采集能谱数据，采集所有Xray元素信息，并进行元素分析，得到各种元素的重量百分比；6）将重量百分比换算成摩尔百分比；7）判断当前颗粒是否是硫化物夹杂物，对相应化学式进行匹配；8）判断当前颗粒是否是氮化物夹杂物，对相应化学式进行匹配；9）判断当前颗粒是否是氧化物夹杂物，对相应化学式进行匹配；10）如果步骤7、步骤8、步骤9未能识别，则定义当前颗粒为“未识别夹杂物”；11）重复步骤7）-步骤10），直到完成当前帧所有颗粒的分类；12）重复2）-步骤11），直到完成所有帧的分析；所述判断当前颗粒是否是硫化物夹杂物的步骤：1）首先判断硫元素摩尔百分比是否超过2%，如果小于2%则不是一个硫化物夹杂物；2）对所有的硫化物夹杂物进行分类匹配：如果颗粒元素不能匹配到任何硫化物辅助元素且硫含量摩尔百分比5%，则不是一个硫化夹杂物；3）如果颗粒元素不能匹配到任何硫化物辅助元素，且硫含量摩尔百分比5%，则这是一个“其他硫化物”；所述辅助元素包括Mn、Ca、Mg、Ce和La；所述判断当前颗粒是否是氮化物夹杂物的步骤：1）颗粒元素中氮含量摩尔百分比不足2%，则不是氮化物夹杂物；2）颗粒的x-ray元素是否含可以与氮结合的辅助元素，且辅助元素摩尔百分比之和大于5%，如果不是，则不是一个氮化物夹杂物；所述辅助元素包括Ti、V、Nb、Al、Zr、Cr、La和Ce；所述判断当前颗粒是否是氧化物夹杂物的步骤：1）首先检查x-ray元素是否含氧，如果氧量不足10%摩尔百分比，则不是一个氧化物夹杂物；2）检查x-ray元素是否含可以与氧结合的辅助元素，辅助元素为Al、Ca、Mg、Si、Mn、Cr、Ti及稀土元素中的任一种，不含可以与氧结合的辅助元素，则不是一个氧化物夹杂物；3）对标准库中所有的氧化物标准进行逐个匹配。

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