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申请/专利权人：新恒汇电子股份有限公司

摘要：本发明提供一种引线框架制作图纸的设计方法，涉及引线框架制作技术领域。包括步骤S1：根据客户提供的目标产品图纸，获取引线框架需求图案；步骤S2：对引线框架需求图案进行环式处理，以形成引线框架测试图纸；步骤S3：对引线框架测试图纸进行合格性验证；其中，进行环式处理包括形成侧蚀抵消环和在侧蚀抵消环的基础上形成参数兼容环。本发明通过设置形成侧蚀抵消环和参数兼容环的环式处理，能够抵消制作引线框架时侧蚀反应的影响，并且兼容设备参数和干膜参数的影响；基于此，本发明能够提高引线框架产品的合格率和稳定性，并且可以大大节省工作量、提高工作效率，从而能够有效缩短引线框架的制作周期。

主权项：1.一种引线框架制作图纸的设计方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1：根据客户提供的目标产品图纸，获取引线框架需求图案5；步骤S2：对引线框架需求图案5进行环式处理，以形成引线框架测试图纸；步骤S3：对引线框架测试图纸进行合格性验证；其中，所述步骤S2中的进行环式处理包括如下子步骤：步骤S2-1：在引线框架需求图案5上形成侧蚀抵消环3；所述侧蚀抵消环3用于抵消制作引线框架时蚀刻工序中侧蚀反应的影响；步骤S2-2：在侧蚀抵消环3的基础上形成参数兼容环4；所述参数兼容环4用于兼容制作引线框架时设备参数和干膜参数的影响；所述步骤S2-1中：在引线框架需求图案5的基础上，获取引线框架需求图案5的各边均向其内侧缩小同样距离后形成的侧蚀抵消环边，所述同样距离为侧蚀抵消线宽；所述侧蚀抵消环边与引线框架需求图案5各边之间形成的环即为侧蚀抵消环3；所述步骤S2-2中：在侧蚀抵消环边的基础上，获取侧蚀抵消环边向其内侧缩小一定距离后形成的参数兼容环边，所述一定距离为最小理想线宽；所述参数兼容环边与侧蚀抵消环3边之间形成的环即为参数兼容环4；所述侧蚀抵消线宽根据蚀刻设备的侧蚀量决定，所述设备的侧蚀量通过使用全孔测试板进行蚀刻试验获得；其中，侧蚀抵消线宽=（蚀刻试验测量值-全孔测试板标准值）×1000÷2×（引线框架定位孔标准值÷全孔测试板标准值）2，式中的蚀刻试验测量值为蚀刻后全孔测试板上圆孔的实际直径、全孔测试板标准值为要求的蚀刻后全孔测试板上圆孔的标准直径、引线框架定位孔标准值为引线框架客户要求的蚀刻后定位孔的标准直径；所述最小理想线宽根据曝光设备的最小分辨率以及干膜的解像性参数和附着性参数决定；最小理想线宽=MAX{曝光机的最小分辨率，干膜的解像性参数，干膜的附着性参数}。

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